等离子体

等离子体增强化学气相沉积法，成功制备出具有独特分级结构的钒液流电池储能新材料。该材料的设计思路为：采用微米级钒液流电池碳毡电极为基体，在其上合成出三维致密排列的石墨烯。这种新型分级结构不仅将传统碳毡电极的

飞船使用了等离子推进器技术。这种引擎使用大量电能，将气体电离为等离子体，再将之喷射用以推进。影片中这套系统消耗的大量电能，则由飞船上多块巨大的太阳能帆板提供。 　　影片中的帆板随着人造重力居住区

。 影片中，人类建造了往返于地球与火星之间的飞船赫尔墨斯号。由于航程遥远，如果使用常规动力，将不得不携带大量的燃料。因此电影中的飞船使用了等离子推进器技术。这种引擎使用大量电能，将气体电离为等离子体，再将

往返于地球与火星之间的飞船赫尔墨斯号。由于航程遥远，如果使用常规动力，将不得不携带大量的燃料。因此电影中的飞船使用了等离子推进器技术。这种引擎使用大量电能，将气体电离为等离子体，再将之喷射用以推进。影片

建造了往返于地球与火星之间的飞船赫尔墨斯号。由于航程遥远，如果使用常规动力，将不得不携带大量的燃料。因此电影中的飞船使用了等离子推进器技术。这种引擎使用大量电能，将气体电离为等离子体，再将之喷射用以

Emission Spectrometry/电感耦合等离子体光谱法测量光伏多晶硅用工业硅粉中B, P, Fe, Al, Ca的含量由中国恩菲牵头编制 SEMI PV65-0715 Test

by Inductively-Coupled-Plasma Optical Emission Spectrometry/电感耦合等离子体光谱法测量光伏多晶硅用工业硅粉中B, P, Fe, Al, Ca的含量由中国恩菲牵头编制 　　 　　SEMI

Spectrometry/电感耦合等离子体光谱法测量光伏多晶硅用工业硅粉中B, P, Fe, Al, Ca的含量由中国恩菲牵头编制SEMI PV65-0715 Test Method for (C-Si

的波段范围内反射率都很低且接受角广而备受关注。除了RIE还有其他制作黑硅的方法，如激光制绒、金属催化湿化学刻蚀、等离子体浸没离子注入等。黑硅在太阳能电池应用中的一个难题是黑硅表面面积增大而导致表面复合
等离子体加强化学气相沉积（PECVD）的65nm厚的SiNx层。首先在硅片表面制作氧化层掩膜留出2*2cm2的窗口。通过RIE使用SF6/O2在120℃条件下刻蚀硅片窗口位置7分钟制作黑硅。图2a显示

等离子体浸没离子注入法成功制备出具有不同绒面结构的多晶黑硅。利用原子力显微镜（AFM）、分光光度计和量子效率测试仪分别对黑硅的表面结构、反射率和内量子效率进行了分析研究。研究结果表明，使用不同制绒条件在黑硅
，采用等离子体浸没离子注入法（PIII）可以成功制备出多晶黑硅并研究了其表面微观结构和反射率。目前，我们通过PIII方法制备出多晶黑硅并研究了绒面结构对电池电性的影响。2 实验设计本次试验使用的