离子注入系统

采用等离子体浸没离子注入方法制备黑硅，制备的多晶硅片反射率低至1%（在可见光波段内），表面微观结构和反射率可控。通过系统研究，研制的多晶黑硅电池转换效率最高达18.3%。小批量试产表明工艺稳定。 专家组
索比光伏网讯:2013年10月12日，中科院前沿局组织专家在中科院嘉兴对微电子所承担的院知识创新工程重要方向项目等离子体浸没离子注入制备黑硅及太阳电池技术研究进行了现场验收。专家组由来自上海交通大学

，将对晶硅高效太阳电池的产业化起到积极的推动作用。高转换效率IBC电池不但可降低光伏系统的LCOE，在太阳能汽车、太阳能飞机等特殊领域都有着广泛的应用前景。虽然目前因为IBC电池制造工艺复杂、使用的材料
遮挡对户用系统的影响降至最低，因此十分适合应用于周边有树木植被的居民屋顶安装场景。2017年2季度，晶科的半片组件已实现规模化量产的主流功率，60片单晶290-300瓦，单晶PERC310-320瓦

合肥物质研究院、教育部光伏系统工程研究中心、中科大先进技术研究院、合工大智能院、可再生能源电能变换技术国家地方联合工程研究中心、智慧能源创新平台等科研及创新服务平台，开展光伏新能源技术研发与品牌创新，在
应用第一城。至2016年底，全市已并网各类光伏发电系统4500余个、规模突破1GW，列省会城市之首；光伏累计发电达4.32亿千瓦时，节约标准煤约12.6万吨，减排二氧化碳达32.6万吨，光伏发电量占全市

（PECVD）、多槽制绒清洗设备、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、高精度丝网印刷机等晶硅电池片生产线设备，大面积TCO导电玻璃镀膜设备、用于背电极制备的多靶位磁控溅射系统，以及大尺寸、超薄硅片多
研究院、教育部光伏系统工程研究中心、中科大先进技术研究院、合工大智能院、可再生能源电能变换技术国家地方联合工程研究中心、智慧能源创新平台等科研及创新服务平台，开展光伏新能源技术研发与品牌创新，在高效逆变

）、多槽制绒清洗设备、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、高精度丝网印刷机等晶硅电池片生产线设备，大面积TCO导电玻璃镀膜设备、用于背电极制备的多靶位磁控溅射系统，以及大尺寸、超薄硅片多线切割机、自动
物质研究院、教育部光伏系统工程研究中心、中科大先进技术研究院、合工大智能院、可再生能源电能变换技术国家地方联合工程研究中心、智慧能源创新平台等科研及创新服务平台，开展光伏新能源技术研发与品牌创新，在高效

几乎无光致衰减。我们对nPERT电池进行了光衰实验验证，如表1结果所示，光照60h后效率衰减仅0.11%，无光致衰减的特点能有效保证系统端的功率输出和发电量。表1 nPERT光衰实验结果通过EQE测试
均匀性示意图（左至右分别为均匀性差、中、好）背面N+的形成可以有热扩散的形式也可以用离子注入的形式。若是使用热扩散的方式，则工艺过程中要用到掩膜工艺，增加了工艺的成本及复杂性。离子注入是一种能够单面掺杂

空间，同时，N型单晶组件具有弱光响应好、温度系数低等优点。因此，N型单晶系统具有发电量高和可靠性高的双重优势。根据国际光伏技术路线图（ITRPV2015）预测：随着电池新技术和工艺的引入，N型单晶电池
效率提升空间和稳定性，成为行业关注和研究的热点。根据图1和2国际光伏技术路线图ITRPV2015的预测，随着背接触（BC）、异质结（HIT）等电池新结构，及激光、离子注入等新技术的引入，N型单晶电池的

的问题在于效率比较低，当时只有6%到10%，还有一个问题有严重的衰减，衰减百分之二三十，寿命也是它的短板，所以这种非晶硅就慢慢退出历史舞台。V族电池那么高的成本只能用在航天上，用在特殊的聚光跟踪的系统
PERC变成空型，变成离子注入，再变成正面扩散，相当于基本的扩散基本结构不太变化，这就变成了n型的PERC，你把它用成三氧化铝，再用点多晶硅，再一乘积，这个意思是差不多，就变成了Topcon，种类也是