离子体反应

建筑内各种设备能源管理的自动化的新型建筑。而实现这种建筑创能、蓄能、节能、智能的主角分别是：一体化建筑光伏发电系统、储能电池系统（包含EV/PHV电动汽车、锂离子电池、铅蓄电池、液流电池等）、以及电源
功能集成于一体的能源工作站PowerStation。锂离子充电电池组设置于室内, 使用了480个目前主要用于笔记本电脑等的圆柱形电池单元,大约4个小时可充满电。PowerStation设置于室外

组建华北电力大学。学校校部设在北京，分设保定校区，两地实行一体化管理。能源工程及自动化专业本专业为国家级特色专业，以太阳能光伏发电为研究方向。本专业培养基础扎实，知识面宽，能力强、素质高，具有较强实践
相关的领域从事所需要的经济管理知识和能力，能够在新能源领域从事科学技术应用、研究、开发和管理的高级人才。学生主要学习生物燃料技术与工程、生物质利用工艺与设备、反应工程、锅炉原理、汽轮机原理等方面

反应的气体增加，到达基片表面的反应产物增多，同时压强适当提高，反应室内的等离子体密度增大，反应气体中活性粒子增多，从而得到高沉积速率、高质量的非晶硅薄膜。但当工作压强进一步上升到较高值时，等离子体密度

：太阳能发电装置、储能电站，以及建筑物本身和生产太阳能电池面板所需的硅材料。对王传福来说，三个产业最终将构成一盘棋局。将它们融为一体的力量很多，比如垂直整合的全产业链制造模式以及如财务资源的共享等。人们出门时
成本，但风险在于如何突破创新瓶颈、对市场做出快速反应而不是闭门造车。比亚迪的一位内部人士说。垂直整合2007年，何龙带领十几个技术员组成了一个研发攻坚小组，首要任务就是将太阳能电池成本进行技术分解。由于

一个复杂的问题。等离子体本身是由电子、离子等带电电荷组成的准中性气体,因此,它的状态容易受到外界条件的影响而发生变化。衬底表面的带电状态、反应器壁的薄膜附着、电源的波动、气体的流速等都会改变等离子体的

，利用辉光放电(或另加发热体)使样品升温到预定的温度，然后通入适量的反应气体，气体经一系列化学反应和等离子体反应，在样品表面形成固态薄膜。PECVD方法区别于其他CVD方法的特点在于等离子体中含有大量

等离子体中，等离子体通过光刻胶中开出的窗口与材料发生物理或化学的反应，从而去掉暴露的材料。干法刻蚀又可分为物理性刻蚀与化学性刻蚀。物理性刻蚀是利用辉光放电将气体如氩(Ar)解离成带正电的离子，再利用

、操作、维护及发展方向。4．1扩散工艺的原理扩散是一种由微粒的热运动所引起的物质输运过程，可以由一种或多种物质在气、液或固体的同一相内或不同相间进行。在固体中，扩散粒子可以是杂质原子或离子，也可以是基质
过量；而集成电路工艺中通常采用的是两步法，恒定表面浓度条件下形成预淀积扩散层，然后在恒量源扩散条件下进行扩散，使不同深度的杂质浓度比较均匀。4．1．2磷扩散中的主要化学反应常用的太阳能行业的扩散工艺中

作用。 　　钝化是提高多晶硅质量的有效方法。一种方法是采用氢钝化，钝化硅体内的悬挂键等缺陷。在晶体生长中受应力等影响造成缺陷越多的硅材料，氢钝化的效果越好。氢钝化可采用离子注入或等离子体处理。在多晶硅
）Kysera电池 　　日本ky0cera公司在多晶硅高效电池上采用体钝化和表面钝化技术，PECVD SiN膜既作为减反射膜，又作为体钝化措施，表面织构化采用反应性粒子刻边技术。背场则采用丝印铝奖烧结形成

硅材料，氢钝化的效果越好。氢钝化可采用离子注入或等离子体处理。在多晶硅太阳电池表面采用pECVD法镀上一层氮化硅减反射膜，由于硅烷分解时产生氢离子，对多晶硅可产生氢钝化的效果。在高效太阳电池上常采用表面