硅片清洗

，光伏发电将在21世纪前半期超过核电成为最重要的支柱能源。未来10年，世界太阳能电池制造产业仍将保持30%以上的年复合增长速度。作为支撑太阳能电池产业发展并贯穿整个产业链的制造装备(包括材料提纯/硅片
、PECVD、刻蚀机、高低温烧结炉、清洗机、单晶炉、铸锭炉等光伏装备和产品，以最快的建设速度、几乎全国产化的自有装备建成了75MW太阳能电池生产线。现在，国内的每一条太阳能电池生产线，都可看到48所的产品

一. 硅片的化学清洗工艺原理　　硅片经过不同工序加工后，其表面已受到严重沾污，一般讲硅片表面沾污大致可分在三类：　　A. 有机杂质沾污： 可通过有机试剂的溶解作用，结合超声波清洗技术来去除。　　B.

全产业链中共有近50个工序，这次我们还将增加一个硅块表面研磨工序。英利法国籍副总工程师Nabih博士向我们解释说：“由于硅片厚度的进一步降低，硅块表面质量将更能影响硅片切割、清洗、制造电池等后续环节

：★太阳能光伏生产设备：1．硅棒硅块硅锭生产设备：全套生产线，铸锭炉，坩埚，生长炉，其他相关设备；2．硅片晶圆生产设备： 全套生产线，切割设备，清洗设备，检测设备，其他相关设备；3．电池生产设备： 全套
生产线，蚀刻设备，清洗设备，扩散炉，覆膜设备/沉积炉， 丝网印刷机，其他炉设备，测试仪和分选机，其他相关设备； 4．电池板/组件生产设备：全套生产线，测试设备，玻璃清洗设备，结线/焊接设备，层压设备等

日 14：00-17:00展出内容：光伏生产设备：硅棒硅块硅锭生产设备：全套生产线，铸锭炉，坩埚，生长炉，其他相关设备硅片晶圆生产设备： 全套生产线，切割设备，清洗设备，检测设备，其他相关
设备电池生产设备： 全套生产线，蚀刻设备，清洗设备，扩散炉，覆膜设备/沉积炉， 丝网印刷机，其他炉设备，测试仪和分选机，其他相关设备电池板/组件生产设备： 全套生产线，测试设备，玻璃清洗

本具备太阳能电池设备整线供给能力。经多次技术换代及升级，国产的太阳能电池及组件生产线关键生产设备如硅片清洗机、8英寸扩散炉、等离子刻蚀机、PSG祛除机、低温烘干炉、高温烧结炉等相继在国内大生产线上替代了
设备、硅片自动清洗设备、自动PSG祛除设备，石英附件清洗设备)、扩散设备、化学气相淀积设备以及高温烧结炉在国产设备市场上具有很强的竞争力，已经装配到国内多条生产线上。针对太阳能电池片设计的清洗设备

，千吨级技术出现曙光；硅片加工规模已达世界级；电池及组件行业有世界一流企业领军；太阳能灯具规模世界第一；并网发电系统国际知名。 　　提高效率降低成本是当务之急 　　太阳能电池制造设备的发展目的是为了
，提高整线生产效率，减少人工干预，降低碎片率；将更先进的工艺技术物化于设备，进一步提高太阳能电池的光电转换效率，降低每瓦成本；适合大尺寸(从目前主流的125mm×125mm和156mm×156mm硅片

(工业硅，99%纯度)—高纯硅(6N或以上纯度)—单晶硅或多晶硅—硅片—电池—组件—应用产品，设备是基础和支撑，贯穿了所有环节。 　　除前道的材料提纯、硅片加工和后道的组件生产外，最关键的工序为
电池制造，它包括清洗、制绒、扩散、刻蚀、减反射膜制备、电极印刷、低温烘干、高温烧结、自动测试分捡等。 　　经过数年的艰苦努力，我国光伏设备企业已基本具备太阳能电池制造整线装备能力，部分产品如扩散炉、等离子

国际上太阳能光伏市场的发展给太阳能设备制造企业带来了很大的商机，太阳能光伏前期制造设备中硅单晶炉、多晶硅铸造炉、切断机床、切方滚磨机床、多线切片机、清洗设备、甩干机等一系列的设备，太阳能电池片后期
也各有千秋，制造设备的厂家应综合各家生产太阳能硅片的优点，制造出更好更适合生产太阳能硅片的设备，这样的设备要符合以下三个要求：一是高精度高质量，二是产能的高效率，三是使用方便可靠。 国内设备企业的

设备整线供给能力。经多次技术换代及升级，国产的太阳能电池及组件生产线关键生产设备如硅片清洗机、8英寸扩散炉、等离子刻蚀机、PSG祛除机、低温烘干炉、高温烧结炉等相继在国内大生产线上替代了进口设备，并
自动制绒面设备、硅片自动清洗设备、自动PSG祛除设备，石英附件清洗设备)、扩散设备、化学气相淀积设备以及高温烧结炉在国产设备市场上具有很强的竞争力，已经装配到国内多条生产线上。针对太阳能电池片设计的清洗