硅片清洗

，硅片清洗、加工以及太阳能电池组件封装的技术门槛较低。依靠国内大量低廉的劳动力，这个环节的产业发展最为迅速，中国已经有各种光伏企业超过500家，其中6家公司先后在海外上市。然而，在生产企业和生产规模继续
伏产业由于竞争加剧，国际电池组件的价格增幅将放缓，而开发区内的企业大多从事硅片清洗、加工，在光伏产业链中处于中上游，下游产品利润的下滑会波及到这些企业，进而影响开发区硅材料加工企业的效益。 　　4

。虽说坩埚的几何尺寸也在规格范围内，但离散性大，有时偏上限，有时偏下限。此外在石英坩埚的清洗和纯化，石英坩埚的包装材料上，坩埚厂家也有许多有待改进的地方。随着集成电路制造业向中国转移，带动了硅片的需求强劲

。国产坩埚虽说使用了进口原料，然而由于制作过程中的沾污、清洗或纯化不过关，包装材料不洁净或由于质量管理的漏洞，可能引起杂质的污染。 国产石英坩埚的优缺点及改进建议
，但在严格的质量管理方面还欠火候，没有作业指导书或操作规程，产品缺乏一致性。虽说坩埚的几何尺寸也在规格范围内，但离散性大，有时偏上限，有时偏下限。此外在石英坩埚的清洗和纯化，石英坩埚的包装材料上，坩埚

/张永安 硅片自动化清洗技术与装备 10:40-11:00 深圳珈玮实业有限公司 丁孔贤 董事长 光伏组件的质量控制 11:00-11:20 南开大学光电子研究所 耿新华

； 　　　　　　　　精抛：主要作用改善晶片表面的微粗糙程度，一般去除量1um以下 　　主要原料：抛光液由具有SiO2的微细悬硅酸胶及NaOH（或KOH或NH4OH）组成，分为粗抛浆和精抛浆。 　　清洗：在单晶硅片

1985年问世，1986年V型槽技术又被应用到该电池上，效率突破20％。V型槽对电他的贡献是：减少电池表面反射；垂直光线在V型槽表面折射后以41”角进入硅片，使光生载流子更接近发射结，提高了收集效率，对低
电池，在发射结扩散后，用激光在前面刻出20μm宽、40μm深的沟槽，将槽清洗后进行浓磷扩散。然后在槽内镀出金属电极。电极位于电池内部，减少了栅线的遮蔽面积。电池背面与PESC相同，由于刻槽会引进损伤，其

太阳能电池及组件制造装备 用于制造太阳能电池及组件，包括：太阳级硅投炉料制造成套装备，多晶硅铸锭炉，多线切割机，剖锭机，硅片抛光设备，硅片清洗机，扩散设备

）◆ 参展范围：1、半导体材料：单晶硅、硅片、锗硅材料、S01材料、太阳能电池用硅材料及化合物半导体材料、石英制品、石墨制品、防静电材料等；2、半导体设备：半导体封装设备、半导体扩散设备、半导体焊接设备
、半导体清洗设备、半导体测试设备、半导体制冷设备、半导体氧化设备等；3、半导体分立器件产品与应用技术等；4、半导体光电器件；5、IC产品与应用技术、IC测试方法与测试仪器、IC设计与设计工具、IC