激光

法除去分隔沟中的金属，完成被电极的分离。 整套工艺可以说还是相对复杂，并且使用了多次光刻和需对准的工艺。ISFH的技术人员也了解这一问题，目前正研究如何使用激光技术替换掉光刻。

激光椭偏仪;氮化硅减反膜薄膜沉积后样品的反射率测试采用R9000-2DMA 全自动D8 积分式反射仪;多晶硅太阳电池的电性能测量采用Halm 测试机;多晶硅光伏组件的电性能测试采用PASAN 功率

，产线易于改造，只需在现有工艺基础上增加镀膜和激光划线两步，技术难度相对较小，设备投资成本低，是业内高效电池路径的首选。现阶段PERC电池中P型电池占绝对优势，但P型组件存在光衰。N型组件则没有光衰

归功于PERC 技术的普及，一代技术、一代设备， PERC 电池在原有设备上新增加背面镀膜及激光开槽两大工序，对 PERC 产能的新一轮投资开启了设备商的发展黄金期。降低成本主要通过提高效率(由设备
\/GW，则 2019\/2020年设备空间可达 102亿、 77亿，2019年对应制绒设备、扩散炉、刻蚀机、激光设备、自动化设备空间各自约10亿，正面 PECVD 空间 20亿，背面 PECVD

%，主要归功于PERC 技术的普及，一代技术、一代设备， PERC 电池在原有设备上新增加背面镀膜及激光开槽两大工序，对 PERC 产能的新一轮投资开启了设备商的发展黄金期。降低成本主要通过提高效率(由
亿元\/GW，则 2019\/2020年设备空间可达 102亿、 77亿，2019年对应制绒设备、扩散炉、刻蚀机、激光设备、自动化设备空间各自约10亿，正面 PECVD 空间 20亿，背面 PECVD 空间 30亿，丝网印刷 15亿。

技术跟PERC技术相结合，可以使电池的量产效率轻易突破22%。 SE+PERC已经成为行业主流的提效方式，采用激光掺杂技术形成选择性PN结,已经被很多企业采用。激光PSG掺杂法是采用扩散时产生的
磷硅玻璃层作为掺杂源进行激光扫描，形成重掺杂区。激光掺杂选择性发射极太阳电池生产线，工艺上只需增加激光掺杂一个步骤，从设备上来说，只需增加掺杂用激光设备，与常规产线的工艺及设备兼容性很高，是行业研究的

;背面p/n交替的叉指状结构的形成是IBC电池的技术核心，可通过光刻、掩膜、激光等方法实现。 ▲图1. IBC电池结构示意图 1.2 IBC电池发展过程 1975年
。 ▲图5. 26.6%效率的HBC电池结构示意图 精简工艺步骤、降低制造成本，是实现IBC电池产业化的关键因素。比如，在IBC电池的制作过程中，可用丝网印刷、激光等目前

日前，武汉帝尔激光科技有限公司接受多家机构调研，帝尔激光董事会秘书刘志波、证券事务代表段晓婷出席了会议。 帝尔激光成立于2008年4月25日，公司主营业务为精密激光加工解决方案的设计及其配套设备的

0.3%的提升，SE技术跟PERC技术相结合，可以使电池的量产效率轻易突破22%。 SE+PERC已经成为行业主流的提效方式，采用激光掺杂技术形成选择性PN结,已经被很多企业采用。激光PSG掺杂法
是采用扩散时产生的磷硅玻璃层作为掺杂源进行激光扫描，形成重掺杂区。激光掺杂选择性发射极太阳电池生产线，工艺上只需增加激光掺杂一个步骤，从设备上来说，只需增加掺杂用激光设备，与常规产线的工艺及设备兼容性

之一，集成了先进的半片技术，运用高精度激光切割工艺，将常规电池片一分为二，使电池片电流减半，有效降低了组件内部损耗。同时，由于半片电池片间隙增多，多次反射后将有更多阳光被吸收，极大提升了组件的输出功率