湿法

常州捷佳创是深圳捷佳伟创的全资子公司，其前身是深圳捷佳创，已具有十三年湿法光伏设备的研发和制造经验。常州捷佳创已向行业提供了约50GW的单多晶制绒酸洗设备和湿法刻蚀设备，行业设备成本下降50%以上

成为光伏产业的里程碑事件，金刚线技术的应用，助力多晶硅片成本大幅下降，占比由2017年的37%提升到2018年的99%。黑硅技术解决了多晶金刚线切制绒问题，其中湿法黑硅占比56%，江亚俐表示。 阿特斯
技术总监王栩生表达了类似的观点，他在《阿特斯高效多晶技术与战略》报告中认为，金刚线切片在多晶上的应用是个巨大的宝藏，降本达29%，而黑硅是打开宝藏的钥匙。目前湿法黑硅技术已经完全成熟，其量产设备达到

了多晶PERC电池的衰退问题，自2017年2月开始稳定量产基于金刚线切割的多晶硅片的黑硅PERC电池，目前量产平均效率达到20.5%，LID可控制在1.5%以内。使用常规量产的组件BOM产出湿法黑硅

20.1%，而在加入俗称“干法”的离子反应法（RIE）黑硅蚀刻工艺后，效率进一步提升到了20.6%。协鑫集成表示，为搭配金刚线切与黑硅技术，公司深入比较并研究添加剂、MACE（俗称“湿法”）以及RIE三种

多晶硅片的湿法黑硅PERC电池，其电池生产的平均效率达到20.3%。多晶黑硅PERC硅片投产组件，使用常规量产的组件BOM产出组件主档位功率输出大于285W，平均功率接近290W，完全满足最新领跑者标准

表示，自2017年2月开始，协鑫集成已开始稳定量产基于金刚线切割的多晶硅片的湿法黑硅PERC电池，其电池生产的平均效率达到20.3%。多晶黑硅PERC硅片投产组件，使用常规量产的组件BOM产出组件主档

不退火，其余四组为在氮气和真空两种环境下进行的退火时间分别为10min及20min的退火实验，每组各200片。退火使用的硅片经过正常的清洗制绒，扩散制结，湿法切边，然后在PECVD炉内采用高折射率工艺