工艺流程
异质结电池是近年来引起行业高度关注的高效技术，因其高转换效率和双面性、提效潜力高、降本空间大、工艺流程短等优势，成为行业公认的未来电池技术最具性价比的解决方案之一。因此各种提效降本的方案陆续被提出
异质结电池来说，藉由逐步使用薄片化硅片来达到提效降本的功能成为可能。
工艺流程简单
异质结电池的另一项优势在于工艺步骤相对简单，以梅耶博格所开发的整合沉积正反面非晶硅薄膜的
GW，对应新增大尺寸硅片产能 150GW~197GW。
在硅片制造工艺流程中，核心设备主要包括长晶炉、截断机、滚磨机、切片机及分选机，其中单晶炉价值占比最大。 目前，非
背面全扩散电池)使用少子寿命高的 N 型硅片作为衬底，电池几乎无光致衰减，正面使用 硼扩散形成发射极，背面采用磷全扩散，是钝化接触工艺流程中的入门级结构。N-PERT 电池工艺的关键在于双面 掺杂和
、PVD/RPD、丝网印刷+烧结炉。
异质结电池优势
◼ 最简洁4步工艺流程
◼ 最高转换效率
◼ 最低温度系数
◼ 最佳双面效益
◼ 无光致衰减(LID)
◼ 无电位衰减(PID
步工艺流程，但设备投资过高
◼ 电池生产所需材料昂贵
主流工艺流程
整线设备：(1)制绒清洗设备(2)板式等离子体增强化学气相沉积设备(3)反应式等离子体镀膜设备(4
电池片龙头，产品涵盖电池片生产全工艺流程，核心产品市占率超过50%。凭借高强度研发投入，公司抢先布局以TOPCon和异质结为首的新一代高效电池生产设备。随着PERC产能稳步扩张以及高效电池片的升级迭代
分别为7.2%，5.9%，5.0%。 捷佳伟创公司主营业务为PECVD设备、扩散炉、制绒设备、刻蚀设备、清洗设备、自动化配套设备等太阳能电池片生产工艺流程中的主要设备的研发、制造和销售。截至2020年03月11日，该公司股东人数(户)为15583，较上个统计日减少3512户。(完)
，具备转换效率高、提效空间大、发电能力强、工艺流程短等多重优势，是最具可能替代传统单多晶的，有望成为下一代主流光伏技术。 中利集团称，公司已在申请多项专利并已取得部分专利授权。TOPCon电池则有
Sigma 300 SEM 场发射扫描电镜、I-V 测试设备Berger PSS10。 1.2 制备流程 采用氧化铝浆料制备黑硅PERC 多晶太阳电池的工艺流程为：①黑硅制绒②扩散③刻蚀去PSG ④背面
电池(异质结电池)转换效率更高、衰减性更低、工艺流程更短，但此前一直受限于设备成本过高。随着国产设备陆续成熟，设备降本迅速，2020年HJT电池有望加速进入导入期。 我们假设2020-2023年HJT
。需要从非晶硅界面钝化、TCO 光吸收损失、金属化电阻损耗三方面进行努力，对应的工艺流程为 CVD、PVD、丝印三个步骤。这个三大难点克服，不仅仅是工艺的问题，还涉及到设备和材料的配套和改进
，异质结工艺流程大大简化，但对工艺的要求却更为严苛，如洁净度、真空度、温度控制、镀膜质量等，比现有的电池技术要求都要高出一个量级。
异质结电池成本下降路径清晰可期。截至 2018 年底，异质结电池
工序，即可实现 BSF 向 PERC 的转化。PERC 电池的工艺流程包括：沉积背面钝化层，然后开槽形成背面接 触。相较常规光伏电池的工艺流程新增了两个重要工序，只需在传统电池产线 上额外增加钝化膜
