双面AlOx钝化PERC电池
展览会（PV Taiwan 2017）期间宣布推出全新一代DK92正银技术平台，率先兼容包括双面氧化铝钝化在内的各类PERC背钝化镀膜技术与工艺，包括原子层沉积ALD（包括空间区隔式ALD、基于加工
栅电池效率达到23.45%。这一数据再次打破了P型单晶电池效率的世界纪录。2006年用于对P型PERC电池的背面的钝化的AlOx介质膜的钝化作用引起大家重视，使得PERC电池的产业化成为可能。随后随着
Taiwan 2017)期间宣布推出全新一代DK92正银技术平台，率先兼容包括双面氧化铝钝化在内的各类PERC背钝化镀膜技术与工艺，包括原子层沉积ALD(包括空间区隔式ALD、基于加工时间式 ALD即
验室研究的PERC电池创造了转换效率25%的世界纪录，由此获得了世界范围内的广泛关注。 经过二十多年的发展，随着沉积AlOx产业化制备技术和设备的成熟，加上激光技术的引入，PERC技术开始逐步走向
AlOx介质膜的钝化作用引起大家重视，使得PERC电池的产业化成为可能。随后随着沉积AlOx产业化制备技术和设备的成熟，加上激光技术的引入，PERC技术开始逐步走向产业化。2013年前后，开始有厂家
的背面的钝化的AlOx介质膜的钝化作用引起大家重视，使得PERC电池的产业化成为可能。随后随着沉积AlOx产业化制备技术和设备的成熟，加上激光技术的引入，PERC技术开始逐步走向产业化。2013年前
能够形成一层1~2nm厚的SiOx层，起到介质钝化的作用。对于P型基底，AlOx/SiNx叠层薄膜能够将少数载流子的表面复合速率降低到10cm/s。许多高效电池结构，如PERC、PERC、PERT
。许多高效电池结构，如PERC、PERC、PERT、LFC等都是以背面AlOx/SiNx叠层钝化薄膜为基础。与常规晶体硅电池相比，PERC电池用AlOx/SiNx叠层薄膜替代铝背场，背面镀完AlOx
，起到介质钝化的作用。对于P型基底，AlOx/SiNx叠层薄膜能够将少数载流子的表面复合速率降低到10cm/s。许多高效电池结构，如PERC、PERC、PERT、LFC等都是以背面AlOx/SiNx叠层
晶硅太阳能电池的表面钝化一直是设计和优化的重中之重。从早期的仅有背电场钝化，到正面氮化硅钝化，再到背面引入诸如氧化硅、氧化铝、氮化硅等介质层的钝化局部开孔接触的PERC/PERL设计。虽然这一结构
