刻蚀

太阳能电池在扩散、刻蚀、腐蚀、镀膜、印刷等生产环节所需要的电子电工、化学化工、机械工程，专业英语等各类专业及复合型人才，已通过与太阳能光伏企业签订产学研培训协议，培养出一大批专业技术知识过硬，手动操作能力

制造工艺，如刻蚀、PECVD、LPCVD、PVD、MOCVD以及清洗等。”Edwards中国分公司总经理许坚说。“制造工艺的复杂度不断提升，对包括真空泵在内的设备硬件提出了更苛刻的要求

得以发挥。王润生博士说，以前光伏行业是拥硅为王，现在则是技术为王，技术的领先才能带来企业发展的可持续性。在新的4条SE生产线现场参观中，笔者对偌大的生产车间里有条不紊的运作印象深刻，制绒、扩散、刻蚀、淀

、刻蚀、扩散、涂膜、丝网印刷、分检等关键装备。 4．太阳能光伏电池原料及组件生产制造的关键设备。 5．太阳能光伏并网发电系统集成的关键技术与设备。 6．太阳能光伏建筑一体化系统及

提升，可全面满足国内最新工艺的需求。新型ICP刻蚀设备，采用无油真空泵、自动匹配射频电源，工艺时间更短，去边效果更好，维护成本更低，单台产能即可满足30MW生产线的需要。而装片量达196片/管

、环保处理、扩散成本等技术性能方面又有全面提升，可全面满足国内最新工艺的需求。新型ICP刻蚀设备，采用无油真空泵、自动匹配射频电源，工艺时间更短，去边效果更好，维护成本更低，单台产能即可满足30MW生产线

类型的化学刻蚀方法制作出微米级和纳米级的表面特征，增加了光吸收率，减少了反射，使电池表面保持清洁。 通过三维结构捕获日光，以及制作出自清洁的表面——允许雨水或露珠洗去堆积在电池阵列里的灰尘和污垢，这些
的2009春季美国化学协会全国会议上。 硅刻蚀处理模拟莲叶的超疏水表面，采用两种不同尺度的表面粗糙度来达到高的接触角度，以便使雨水或露滴滑下并滚落。其间，水珠将带走灰尘或污垢。 研究员们利用

光伏电池的前电极。但随着光吸收性能要求的提高，TCO玻璃必须具备提高光散射的能力，而ITO镀膜很难做到这一点，并且激光刻蚀性能也较差。铟为稀有元素，在自然界中贮存量少，价格较高。ITO应用于太阳能电池时
在等离子体中不够稳定，因此目前ITO镀膜已非光伏电池主流的电极玻璃。 　　SnO2镀膜也简称FTO，目前主要是用于生产建筑用Low-E玻璃。其导电性能比ITO略差，但具有成本相对较低，激光刻蚀容易

扩散炉、等离子刻蚀机、单晶炉、多晶铸锭炉等开始少量出口，可提供10种太阳能电池大生产线设备中的8种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线上占据

方滚磨机、多线切割机清洗制绒机、扩散炉、刻蚀机、等离子增强化学气相淀积设备、烧结炉及各种太阳电池测试设备等。西安理工晶科、北京京运通真空设备公司、江苏华盛天国产太阳电池制造设备的喜与忧龙机械