刻蚀

级多晶硅铸锭炉，大尺寸、多线切割机，硅片自动分选机等太阳能硅片关键生产设备的国产化，支持多槽制绒清洗设备，全自动平板式PECVD，激光刻蚀机，全自动印刷机等晶硅电池生产线设备和PECVD等薄膜电池

PECVD，激光刻蚀机，全自动印刷机等晶硅电池生产线设备和PECVD等薄膜电池生产设备的研制、生产，将光伏生产设备成本降低30%。辅料的国产化。我国在太阳电池辅助材料方面发展较快，如铝浆、EVA和光伏组件超白

籽晶，然后拉伸为圆柱晶棒，再被切割成片，加工成为单晶硅硅片。硅片通过刻蚀、掺杂、涂层以及敷设电触头等工艺制成太阳能电池。太阳能电池然后进行互联形成太阳能电池组件。组件和其它系统部件分销给安装商或直接分销

、晶体硅电池生产设备等，具体包括全自动硅芯/硅棒清洗设备、全自动硅料清洗设备、全自动硅片清洗设备、全自动单晶制绒酸洗综合设备、多晶链式制绒设备、湿法刻蚀设备、等离子体刻蚀机、PECVD、非晶硅玻璃基片清洗
、单/多晶电池片制绒设备、祛PSG/周边刻蚀设备等，从工艺研发到装备制造都获得了先机，是光伏湿法加工设备制造的佼佼者。国外企业中，日本三洋、石井表记两家公司也颇具竞争力，但由于这个市场竞争太激烈，很多

从宏观上涵盖了原生多晶硅料生产设备、硅片加工设备、晶体硅电池生产设备等，具体包括全自动硅芯/硅棒清洗设备、全自动硅料清洗设备、全自动硅片清洗设备、全自动单晶制绒酸洗综合设备、多晶链式制绒设备、湿法刻蚀
设备、等离子体刻蚀机、PECVD、非晶硅玻璃基片清洗设备等。与很多光伏企业一样，捷佳创成立的时间并不长，但在业内形成了一定的口碑与知名度，特别是在清洗设备市场中占有率颇高。据了解，该公司市场触角延伸得

部分ＰＮ结；目前采用ＰＯＣｌ3作为磷源，在卧式炉管中扩散；边缘ＰＮ结刻蚀：去除硅片边缘的ＰＮ结，保证电池正负极间绝缘；ＳｉＮ镀膜：在硅片表面生长一层氮化硅薄膜（ＰＥＣＶＤＳｉＮｘ：Ｈ）；保护层，由于

设备、快速烧结炉、IV检测及分类机，以及Texture至PECVD各主机衔接的装载、卸载设备。其中刻蚀机、磷扩散炉和电浆辅助化学气相沉积炉单机部分采用了Rena、Centrotherm的相关设备，其余

Loader及Unloader设备系统。除了其中的刻蚀机、磷扩散炉与电浆辅助化学相沉积炉单机部分搭配德国Rena、Centrotherm等著名大厂外，其他的单机部分以及产线串联，完全由广运自行规划制造

PECVD各主机衍接Loader 及Unloader设备系统。除了其中的刻蚀机、磷扩散炉与电浆辅助化学相沉积炉单机部分搭配德国Rena、Centrotherm等著名大厂外，其他的单机部分以及产线串联，完全

选择性发射极技术继续其成功之道。Schmid选择性发射极刻蚀机最新订单是八月中旬，来自一家中国的主要生产商。 升级现有的生产线，选择工艺技术首要考虑的是此项技术能否取得效益。Schmid的湿化学工艺以
，也能保证自身刻蚀的稳定性。由于这项技术使用的药液都是光伏行业常用的而且耗药量极小，这些优点保证了Schmid产品较低的成本兼有电池性能提升，在相当长的时期内保持非常有吸引力的成本平衡。 Schmid