刻蚀

% ;第二阶段是加入热氧化工艺，并优化刻蚀、扩散匹配，效率提升至 21.7%;第三阶段，即将规模推广的 SE 技术效率将提升至量产 22% 。 无论处于何种工艺阶段，核心的背钝化膜层的生长设备选型十分重要
退火也可以抑制多晶PERC光衰。 黑硅的湿法刻蚀解决方案 在多晶黑硅+PERC电池技术上，目前主要有直接制绒、湿法黑硅(MACE)与干法黑硅三种方案。与目前的工业水平相比较，湿法黑硅方案具有较强的

工艺实验可以提高产量，节约生产成本。 3.2激光掺杂实验结果 用四探针对激光扫描的2020mm的样片进行方块电阻的测量，然后四组实验在相同的工艺条件下进行洗磷刻蚀、PECVD镀减反膜、丝网印刷电极和烧结

表面绒面严重不均匀，完整的金字塔结构将不复存在，制造出的绒面减反效果也不佳。目前工业上应用最多的多晶硅制绒体系是酸性制绒体系，在HF 和HNO3 的混合溶液中对多晶硅片进行刻蚀。张发云等 在HF 和

、刻蚀、PECVD镀膜、丝网印刷、烧结等工序。每道工序过程中，由于存在人为因素、环境因素及机械不稳定等因素，造成硅片的一些缺陷及污染等，从而影响电池片的性能。因此黑斑片的出现，也许是硅片原材料的问题
、扩散、刻蚀、PECVD镀膜及丝网印刷都在同一条生产线上完成，考虑到设备，人为操作及环境等因素的影响并不能完全保证电池片的均一性，所以Si、P和Ag含量差别在一定范围内是允许的。由于Bi元素来源于印刷电极

覆盖BSF电池相同。电池前表面涂覆了一层均匀的发射极(重掺杂n+层)，是在使用各向异性刻蚀法对硅片表面进行制绒后在其上面进行热扩散磷元素掺杂而成的。 在发射极顶部，有一层由PECVD工艺沉积而成的

制作流程一般为：制绒- 扩散-刻蚀-ALD- 正面PECVD- 背面PECVD- 激光开槽- 丝网印刷。随着PERC 电池的量产，在EL测试中，EL 测试仪总能测出正面发暗的电池片，如图2 所示
( 制绒- 扩散-刻蚀- 正面PECVD- 丝网印刷) 制作，另外100片按照前文所述的PERC 电池流程制作;同时，保证在电池片制作过程中都选用同种设备进行，以减小误差。制作结果如表1 所示，PERC

而使用了弱刻蚀的玻璃体，这应是导致差异的主因。尝试提高烧结炉温区3、4温度，再次进行烧结与检测，如图2所示，铝硅合金层厚度为3.55～4.72m，相对于常规烧结曲线，铝硅合金层厚度明显增加。铝硅合金层
。Al2O3的表面钝化作用在PERC电池的效率提升中起到了关键作用。 由于PERC电池专用铝浆使用了弱刻蚀性的玻璃体，所以相对与常规电池的烧结曲线，铝浆烧结区需要升高温度才能获得良好的铝硅合金层(BSF

。公司现在采用国际高规格的生产设备，实现了生产线自动化(即：MCT自动化、扩散自动化、刻蚀自动化、PE自动化、测试自动化、电注入自动化)，并且我们正在打造全自动化无人车间，所以可以说，展宇新能设备团队对公

工艺，分别是：制绒、扩散、刻蚀、PEVCD、丝印烧结、测试分选。对于整个太阳能电池制作过程考察团给予了极大的赞许。 ▲在副总经理黄琳的带领下参观电池车间

缺陷检测。EL测试的图像亮度与电池片的少子寿命(或少子扩散长度)、电流密度成正比，太阳电池中有缺陷的地方，少子扩散长度较低，从而显示出来的图像亮度较暗。电池制造过程，一般包括制绒、扩散、刻蚀、PECVD
绒、扩散、刻蚀、PECVD镀膜及丝网印刷都在同一条生产线上完成，考虑到设备，人为操作及环境等因素的影响并不能完全保证电池片的均一性，所以Si、P和Ag含量差别在一定范围内是允许的。由于Bi元素