刻蚀

文章使用制绒混合溶液对金刚线多晶硅片制程不良片进行制绒返工。方案通过调整制绒溶液浓度来控制刻蚀深度，通过补加制绒添加剂控制硅片表面反射率。实验分析了三种制绒返工方案所制电池片的外观形貌和电学参数
，对比不同返工方案所做电池片的不良率。 结果显示: 通过稀释制绒溶液并且补加添加剂将制绒刻蚀深度控制在0. 35 m 左右，并且控制硅片表面反射率在25%以下，有利于改善返工电池片的转换效率和电池片良率。

提高产量，节约生产成本。 3.2激光掺杂实验结果 用四探针对激光扫描的2020mm的样片进行方块电阻的测量，然后四组实验在相同的工艺条件下进行洗磷刻蚀、PECVD镀减反膜、丝网印刷电极和烧结

、刻蚀、PECVD镀膜、丝网印刷、烧结等工序。每道工序过程中，由于存在人为因素、环境因素及机械不稳定等因素，造成硅片的一些缺陷及污染等，从而影响电池片的性能。因此黑斑片的出现，也许是硅片原材料的问题
、扩散、刻蚀、PECVD镀膜及丝网印刷都在同一条生产线上完成，考虑到设备，人为操作及环境等因素的影响并不能完全保证电池片的均一性，所以Si、P和Ag含量差别在一定范围内是允许的。由于Bi元素来源于印刷

。 这一湿化学法以纳米特征尺度刻蚀晶片表面，从而增加了光线反射表面的次数及被晶片材料吸收的机会。该工艺使用专利性化学品，具有低成本性和可扩展性，且极易被集成入电池生产线。 SERIS认为，相较于黑硅

的切割面会影响光伏电池的发电效率。制绒类似于磨砂，通过化学手段均匀地刻蚀硅片，才能确保光伏电池以最高效率运行。张文锋说，这项技术没有壁垒，但工序安排和实验设备难以复制，公司通过自主研发，攻克了这一难关

两种刻蚀工艺，这个生产过程需要很多新浆料来适应。在过去的半年贺利氏做了很多的努力，实现了技术上的突破。到目前为止，不管厂商用干法工艺还是湿法工艺，贺利氏都可以提供让他们满意的浆料，这个任务在去年Q4

》。 该所已建成一条相对完整的晶体光伏电池中试线(可年产光伏组件50kW/年)，包括：高纯水制备、半导体清洗、扩散、氧化、光刻、等离子刻蚀、PECVD化学汽相沉积、烧结、真空蒸发镀膜、RF溅射镀膜和离子束