刻蚀

制作方法，但是，现有的方法成本高昂且制作方法复杂，不利于在太阳能电池生产线上推广和使用。 针对这一问题，在纳米金字塔材料的制作上，研究团队采用自己提出的金属辅助碱刻蚀方法来制备硅纳米金字塔绒面。这是

(PERC)。同时在这一步工艺中，两面生长氧化层，正面掺杂的多晶硅对硅片起到吸杂(Gettering)的效果 去除正面氧化层，再使用光刻技术对背面氧化层开孔 使用KOH刻蚀，正面制绒，背面断开掺杂区域的

采用p 型多晶硅片(156 mm156 mm)，彩色多晶硅太阳电池样品的制备流程如图1 所示。所有样品经多晶硅太阳电池生产的常规工艺进行制绒、扩散、刻蚀后，用板式PECVD 调节一次性镀膜工艺，在

\/GW，则 2019\/2020年设备空间可达 102亿、 77亿，2019年对应制绒设备、扩散炉、刻蚀机、激光设备、自动化设备空间各自约10亿，正面 PECVD 空间 20亿，背面 PECVD

亿元\/GW，则 2019\/2020年设备空间可达 102亿、 77亿，2019年对应制绒设备、扩散炉、刻蚀机、激光设备、自动化设备空间各自约10亿，正面 PECVD 空间 20亿，背面 PECVD 空间 30亿，丝网印刷 15亿。

宽的区域激光开槽所带来损伤层，需清洗干净。可用其他开槽方式代替激光，如丝网印刷刻蚀膏，或材料打印机打印刻蚀液(氟化铵)等; 二、硅片需经历氧化和扩散两次高温过程，高温损伤比常规片要大，对硅片质量要求

工艺的稳定性要保证，在几百m宽的区域激光开槽所带来损伤层，需清洗干净。可用其他开槽方式代替激光，如丝网印刷刻蚀膏，或材料打印机打印刻蚀液(氟化铵)等; 二、硅片需经历氧化和扩散两次高温过程，高温损伤比

和良率，对光伏发电的持续升级有极大的作用。 譬如中勤实业在本次SNEC期间推出的新型nPF奈米塑材，该款产品能有效解决业界在蚀刻技术上的问题。 江毓佑介绍道，在光伏电池的湿法刻蚀工艺过程中，干燥

。 公司的产品包括单/多晶制绒设备、管式扩散氧化退火炉、湿法刻蚀设备、管式等离子体淀积炉、智能自动化设备等五大产品系列。公司不仅可以为客户提供晶体硅高效电池生产设备，也提供晶体硅电池交钥匙工程系统解决方案

刻蚀和边缘隔离、背面沉积氧化铝、双面沉积氮化硅、背面钝化激光开槽、丝网印刷、烧结、分选。 其大部分工艺与常规铝背场工艺相同，新增背面钝化镀层与激光开槽两道工序。 目前PERC电池片
在生产中大规模应用，主要因为常规铝背场电池生产线进行部分工艺流程改造，即可用于PERC电池片生产。 当前中国光伏电池制造设备企业已具备了成套工艺流程设备的供应能力，部分产品如清洗/制绒机、扩散炉、等离子刻蚀机等已在