光电子器件

相比，具有沉积速度快、膜层质量好等优点，且已广泛应用于电子、光电子、表面改性等领域。该技术的缺点是沉积工艺温度过高，一般在(900℃～1200℃)之间，被处理的基体在高温下易变形、基体晶粒长大、致使
品质。成膜压力甚至气体的流量都与此结构有关，所以推舟系统是本设备的核心部件。3.气路单元气路单元是一个独立体，它的所有使用元器件都是进口产品，具有控制精确、动作可靠和布局合理的优点，为安全生产提供一个

、淀积、注入等方面。其中最容易实现的是物理溅射刻蚀，它可应用于光刻模板的修理、多层电路的剖面观察、集成光电子器件中光学元件的微细加工。自从聚焦离子束首次用于制作微细结构以来，它已发展成为半导体制作技术
迫切需要寻找新的途径。直到六十年代人们才发现等离子体可用于去除残留碳化物，并可成功地用于等离子体去胶工艺中，随后很快发展了半导体器件工艺中的干法刻蚀技术。2.干法刻蚀干法刻蚀是把材料的被刻蚀表面暴露于

。2010年5月，中环股份拟以不低于11.75元/股的价格定向增发不超过9000万股，募资11亿元投向IGBT及光电子器件用区熔单晶硅材料的研发和产业化项目和绿色可再生能源太阳能电池用单晶硅

11.75元/股的价格定向增发不超过9000万股，募资11亿元投向“IGBT及光电子器件用区熔单晶硅材料的研发和产业化项目”和“绿色可再生能源太阳能电池用单晶硅材料产业化工程二期项目”，2011年1月

5月，中环股份拟以不低于11.75元/股的价格定向增发不超过9000万股，募资11亿元投向IGBT及光电子器件用区熔单晶硅材料的研发和产业化项目和绿色可再生能源太阳能电池用单晶硅材料产业化工程二期项目

任丙彦，男，1946年9月出生于河北省宁晋县。1970年毕业于北方交通大学，毕业至今一直从事太阳能光伏发电领域以及半导体材料、微电子与光电子材料的研究与技术开发工作。在河北工业大学任教40余年，从教
彦，填志愿时报了三个学校西安交大、北航、北交大；专业却只报了一个无线通信。这是一个少年的倔强，更是任丙彦对自己的承诺。此后，任丙彦耗费多半生的时间与半导体为伴，与光电子材料为伍，追光逐电，探索光伏发电

：南开大学光电子所教授、博导、教育部新世纪人才。中国可再生能源学会副理事长，中国可再生能源学会光伏专委会副主任；南开大学光电子薄膜器件与技术研究所所长，天津市“光电子薄膜器件与技术重点实验室”主任、“教育部

元器件构成，不涉及机械部件,所以,光伏发电设备极为精炼,可靠稳定寿命长、安装维护简便。理论上讲,光伏发电技术可以用于任何需要电源的场合,上至航天器,下至家用电源,大到兆瓦级电站,小到玩具,光伏电源
最好的性价比。我国新疆、云南建设的很多乡村光伏电站就是采用光/柴混合系统。7 并网混合供电系统(Hybrid)随着太阳能光电子产业的发展，出现了可以综合利用太阳能光伏组件阵列，市电和备用油机的并网混合

2011年，光电股份总体经营平稳，经营规模不断扩大，除光伏太阳能业务板块之外，光电防务和光电材料与器件业务板块盈利能力持续增强。全年实现营业总收入196158.95万元；实现利润总额2356.09
，提升经济效益。以5S现场管理和ERP系统为平台，逐层推进精细化管理与精益生产工作。加强预算管理，控制财务风险。积极搭建保密基础管理制度体系，顺利通过了二级保密资格认证现场审查。（2）光电材料与器件业务

迁移率、高透光性、高强度等众多优异的物理化学性质，在电子学、自旋电子学、光电子学、太阳能电池、传感器等领域有着重要的潜在应用。目前制备高质量石墨烯的方法主要有胶带剥离法、碳化硅或金属表面外延生长法和化学气
石墨烯及其薄膜的多次重复生长为石墨烯基本物性的研究及其在高性能纳电子器件、透明导电薄膜等领域的实际应用奠定了材料基础。该成果得到了国家自然科学基金委、科技部和中科院等的资助，已申请中国发明专利2项。图1