光伏级氮化硅

光伏作为新能源的一种，受到了各国的极大重视。如何对现有常规P型晶体硅技术进行升级改造，提升效率和降低成本，是各厂家必须面对的问题。目前首要解决的问题就是要降低新电池成本、保持高效，以便大规模
出17.1%的MWT电池，还有荷兰研究机构研究的多晶MWT电池效率也达到了17%。但是MWT电池中金属化孔洞的制备和电级间的分流仍然是MWT发展需要优化的难题。EWT

索比光伏网讯:中国科学院微电子研究所太阳能电池研究中心 贾锐光伏作为新能源的一种，受到了各国的极大重视。如何对现有常规P型晶体硅技术进行升级改造，提升效率和降低成本，是各厂家必须面对的问题。目前首要
也达到了17%。但是MWT电池中金属化孔洞的制备和电级间的分流仍然是MWT发展需要优化的难题。EWT(Emitter Wrap-Through )即发射极环绕穿通电池，它是MWT电池的改进版，兼具了

索比光伏网讯:：近日，经过技术研发部经过近一年的技术攻关，黄河光伏在单晶和多晶高效电池技术研发方面取得了突破性的进展。单晶高效电池的研发，采用氧化铝背钝化新工艺，单晶电池转换效率达到了18.95
氧化铝膜层，然后再在该膜的基础上生长一层氮化硅膜进行保护。通过在背钝化膜层采用激光开孔工艺，结合背钝化铝浆和相匹配的烧结工艺实现单晶电池转换效率的提升。多晶硅高效电池的研发主要攻关RIE电池技术。RIE

。 　　Roth & Rau公司的 MAiA PECVD单台设备即可进行氧化铝背面钝化涂层和氮化硅涂层，这无疑将增加系统的工艺安全性，减少不必要的操作环节。InnoLas公司的ILS TT设备则可
InnoLas Systems GmbH www.innolas-systems.com InnoLas Systems GmbH 是一家德国公司，主要为光伏、半导体、电子、和精密工程行业

平衡控制技术。开发大中小型太阳能并网、离网发电系统、太阳能照明等应用系统、太阳能光伏汽车、太阳能水泵等光伏应用产品。6、配套产品。大力发展高储能蓄电池、逆变器、坩埚、粘合剂、氮化硅、线切割材料、封装材料

第八届中国太阳级硅及光伏发电研讨会 (初拟）议程 12月6日,星期四，南郊宾馆华昌厅 大会主题论坛议程 1、 开幕式、领导致辞 2、 中国光伏产业发展现状及前景 中国
韩华新能源（启东）有限公司 8、 少子寿命在单晶硅太阳电池生产中的变化研究------中科院微电子研究所 刘金虎 9、 多晶硅锭坩埚涂层用氧氮化硅粉体的合成-------------南昌大学光伏

索比光伏网讯:目前，全世界生产的太阳能电池组件85%以上是基于晶硅，其中大多数是基于p型硅片。在p型硅片上加磷扩散发射极和铝背面场得到了常见的多晶或单晶太阳能电池，为绝大多数（95%）基于硅片的PV
扩散高。这使同时形成n型电池的发射极和BSF是一个挑战。此外，用氮化硅（SiNx）钝化发射极的常规方法对p+硼发射极效果较小，这是因为在SiNX/Si界面附近形成了固定的正电荷。这些将产生p+发射极

及终端应用产品项目， 傲大主业；引进一批蓄电池、逆变器、电池线等光伏发电系统的配套项目，做强配套产业；引进一批坩锅、粘合剂、氮化硅、硼等粍材生产企业，做优辅业；引进一批太阳能 光伏发电示范应用
项目，积极争取列入江西省重大产业项目，争取扶持发展基金，并争取国债、技改财政貼息及其它专项资金支持。对符合条件的光伏企业优先给予高新技术企业待遇，积极申报国家级或省级高新技术企业。 3、优先安排主要

刻蚀，也可用于半导体工艺中多晶硅、氮化硅的刻蚀和去胶。2.工作原理及结构特征(1)设备的基本结构本光伏设备由反应室、真空系统、送气系统、高频电源、匹配器等部分组成，见图5.5所示。图5.5等离子体刻蚀
索比光伏网讯:在前一章中我们较为详尽地介绍了太阳能电池制造过程中的一个重要工序P-N结的制作，即常说的扩散过程，并对制作P-N结的扩散炉进行了简单介绍。而在制造太阳能电池的工艺流程中，通常都在扩散