中科院微电子

国家重点实验室牵头，采用产学研模式进行研发，参与单位包括了五个科研院所、高校和企业。本项863课题分为三项任务，其中英利集团与中科院半导体所、中科院微电子所、北京航空航天大学共同承担效率20%以上N型

。　　十、浙江中科院晶硅太阳能电池表面钝化技术取得新进展据OFweek太阳能光伏网了解，浙江中科院应用技术研究院嘉兴微电子设备与仪器工程中心夏洋带领的微电子仪器与设备创新团队，在晶硅太阳能电池表面钝化

索比光伏网讯:浙江中科院应用技术研究院嘉兴微电子设备与仪器工程中心夏洋带领的微电子仪器与设备创新团队，在晶硅太阳能电池表面钝化技术的研究中取得新进展。该创新团队利用自主设计生产的KMT-200A型
原子层沉积设备，在p型单晶硅片上生长氧化铝钝化层，退火后平均少子寿命可达1ms，有效减少了硅片表面复合，具有优秀的表面钝化效果。目前，微电子仪器与设备创新团队以技术优势，吸引美国硅谷研究团队来嘉兴开展

索比光伏网讯:浙江中科院应用技术研究院嘉兴微电子设备与仪器工程中心夏洋带领的微电子仪器与设备创新团队，在晶硅太阳能电池表面钝化技术的研究中取得新进展。该创新团队利用自主设计生产的KMT-200A型
原子层沉积设备，在p型单晶硅片上生长氧化铝钝化层，退火后平均少子寿命可达1ms，有效减少了硅片表面复合，具有优秀的表面钝化效果。目前，微电子仪器与设备创新团队以技术优势，吸引美国硅谷研究团队来嘉兴开展

索比光伏网讯:日前，中科院微电子研究所在多晶黑硅太阳能电池研究方面获得重要突破。黑硅是一种低反射率的硅材料，和常规的硅材料相比，它具有超强的吸收光线的能力，可用于太阳能电池产业。微电子所微电子

日前，中科院微电子研究所在多晶黑硅太阳能电池研究方面获得重要突破。黑硅是一种低反射率的硅材料，和常规的硅材料相比，它具有超强的吸收光线的能力，可用于太阳能电池产业。微电子所微电子设备研究室（八室）夏

索比光伏网讯:　　日前，中科院微电子研究所在多晶黑硅太阳能电池研究方面获得重要突破。　　黑硅是一种低反射率的硅材料，和常规的硅材料相比，它具有超强的吸收光线的能力，可用于太阳能电池产业。微电子
所微电子设备研究室（八室）夏洋研究员带领的研究团队原创性地提出利用等离子体浸没离子注入技术制备黑硅材料。该团队利用自行研制的等离子体浸没离子注入机（国家自然科学基金委、中科院装备项目、方向性项目支持）制备了

微电子器件工艺中得到应用，可见其对纯度达到一定水平的单晶硅硅片也有作用，但其所用的条件未必适用于太阳电池，因而要研究适合太阳电池专用的吸杂工艺。研究证明，在多晶硅太阳电池上，不同材料的吸杂作用是不同的
。 　　多孔硅作为多晶硅太阳电池的减反射膜具有实用意义，其减反射的作用已能与双重减反射膜相比，所得多晶硅电池的效率也能达到13。4％。我国北京有色金属研究总院及中科院感光化学研究所共同研制的在丝网印刷的多晶硅

场等技术。近年来吸杂工艺再度受到重视，包括三氯氧磷吸杂及铝吸杂工艺。吸杂工艺也在微电子器件工艺中得到应用，可见其对纯度达到一定水平的单晶硅硅片也有作用，但其所用的条件未必适用于太阳电池，因而要研究适合
中科院感光化学研究所共同研制的在丝网印刷的多晶硅太阳电池上使用多孔硅也已达到接近实用的结果。由于多晶硅材料制作成本低于单晶硅cZ材料，因此多晶硅组件比单晶硅组件具有更大的降低成本的潜力，因而

要求的前提下，将重量降至9.79kg/m2，据称这是目前世界上重量最轻的玻璃基底薄膜光伏组件。 　 据了解，南开大学、北京工业大学、中科院微电子研究所及中国建材检测认证公司等单位的7位业内专家经过