丝网

产业化相对容易的前表面结构部分。属于UNSW的PERL的衍生技术。相对于尚德PLUTO是对PERL技术的高仿电池，中电SE电池可视为低仿。中电SE电池的工艺特点为：1) 利用丝网印刷腐蚀剂来代替传统光刻

：1) 利用丝网印刷腐蚀剂来代替传统光刻技术在二氧化硅层上蚀刻电极图形，一般为10%～25%的氟化氢铵浆料。2) 经过3次热处理达到先重扩散后轻扩散的目的，仅在重扩散区域印刷电极，即选择性发射极。

寿命）、背面点接触（减少与硅基接触，降低复合速率）这些，都是已经运用非常广的技术。③ 真空蒸镀栅线后再加以电镀，提升均匀性及高宽比。Pluto的栅线相比普通的丝网印刷栅线要窄：丝网印刷栅线的高宽比典型

速率，延长少子寿命)、背面点接触(减少与硅基接触，降低复合速率)这些，都是已经运用非常广的技术。③ 真空蒸镀栅线后再加以电镀，提升均匀性及高宽比。Pluto的栅线相比普通的丝网印刷栅线要窄：丝网印刷栅

目前，丝网印刷等关键环节仍然被国外设备掌控，而在层压、铸锭、切片等方面，中国有所突破。这些设备厂商大多跨越了诸多行业，光伏行业形势较差时会转移到其它领域，同时设备行业经常是在行业好的时候生意火爆，虽然在

多晶硅提纯、铸锭、切片以及电池制造等环节的主流，诸如centrotherm、应用材料、梅耶博格、GTAT等企业，直到目前，丝网印刷等关键环节仍然被国外设备掌控，而在层压、铸锭、切片等方面，中国

、铸锭、切片以及电池制造等环节的主流，诸如centrotherm、应用材料、梅耶博格、GTAT等企业，直到目前，丝网印刷等关键环节仍然被国外设备掌控，而在层压、铸锭、切片等方面，中国有所突破。这些设备厂

设备投资较低，且无需第一代和第二代电池那样清洁的室内环境；三是灵活性好，其厚度只有几微米，透明度高，可通过丝网印刷印在窗户上，因此电池可直接安装在建筑物内，这意味着未来的建筑物以及桥梁等都可

与美化环境完美结合起来。在探索先进工艺的过程中，48所对扩散炉温度控制系统、PECVD压力控制系统、清洗机自动补液系统、高温烧结炉网带自纠偏系统、丝网印刷机压力自适应系统等一系列关键技术进行了改进

:H层;利用溅射技术在电池的两面沉积透明氧化物导电薄膜(TCO)，用丝网印刷的方法在TCO上制作Ag电极。值得注意的是所有的制作过程都是在低于200 ℃的条件下进行，这对保证电池的优异性能和节省能耗具有重要的意义。图 3：三洋公司 HIT电池 h=23%