三氯氢
目前，除个别企业坚持低负荷开车外，三氯氢硅行业近九成企业停产或检修，但市场低迷行情持续。上周国内三氯氢硅主流报价在每吨4500～5000元。三氯氢硅价格已低于成本线，山东、河南、河北等地为争夺
目前，除个别企业坚持低负荷开车外，三氯氢硅行业近九成企业停产或检修，但市场低迷行情持续。上周国内三氯氢硅主流报价在每吨4500～5000元。三氯氢硅价格已低于成本线，山东、河南、河北等地为争夺
和游离基刻蚀，是目前实验室和生产中应用最多的结构;5.磁控反应离子式比反应离子刻蚀有更高的刻蚀速率;6.三级式可分别控制离子能量和离子密度;7.离子铣对所有材料，包括铁磁和陶瓷材料均能刻蚀;8.反应
氧原子反应生成CO、CO2和微量的COF2，这些生成物吸收碳原子，使得氟原子数目增加的同时使得整个蚀刻反应速率加速：若加入H2和CF4，电浆会使氟和氢气解离成原子和离子状态，其中氢原子和氟原子会反应
具有设计年产能5000吨三氯氢硅项目；永祥多晶硅公司年产1000吨多晶硅项目。35.新南洋（600661）：公司参股23.93%子公司上海交大泰阳绿色能源主要从事电池片、电池组件系统的研制、销售以及咨询
（HCl）和冶金级工业硅为原料，制取三氯氢硅（SiHCl3），再利用三氯氢硅进行氢还原生产出多晶硅。在生产过程的前期反应中，会产生大量四氯化硅（SiCl4）、二氯二氢硅（SiH2Cl2）等副产物。而
（三氯氢硅），通过氯氢化处理后作为原料循环使用。单线路生产变为闭合回路循环生产。协鑫单晶硅片的生产也正从传统拉棒技术转型到硅带拉制工艺，这样可以最大程度地减少生产过程中对硅料的浪费。像郭台铭一样，能够
可以通过冷氢化技术提高四氯化硅的转化率，再通过使用闭路循环来有效解决。闭路循环的使用可以有效解决四氯化硅以及三氯氢硅的排放问题，并达到回收并重复利用目的。而晶科能源事故中出现的氢氟酸污染事故，可以通过
要求也较低。晶界及杂质影响可通过电池工艺改善；由于材质和晶界影响，电池效率较低。电池工艺主要采用吸杂、钝化、背场等技术。
近年来吸杂工艺再度受到重视，包括三氯氧磷吸杂及铝吸杂工艺。吸杂工艺也在
的主要因素。PERC和PERL电池成功地解决了这个问题。它用背面点接触来代替PEsC电池的整个背面铝合金接触，并用TCA（氯乙烷）生长的110nm厚的氧化层来钝化电池的正表面和背表面。TCA氧化产生
场等技术。近年来吸杂工艺再度受到重视，包括三氯氧磷吸杂及铝吸杂工艺。吸杂工艺也在微电子器件工艺中得到应用，可见其对纯度达到一定水平的单晶硅硅片也有作用，但其所用的条件未必适用于太阳电池，因而要研究适合
电池成功地解决了这个问题。它用背面点接触来代替PEsC电池的整个背面铝合金接触，并用TCA（氯乙烷）生长的110nm厚的氧化层来钝化电池的正表面和背表面。TCA氧化产生极低的界面态密度，同时还能排除
通过氢化装置，能将四氯化硅加氢反应，生成三氯氢硅回到系统循环使用。另外，多晶硅生产过程中产生的氢气（易燃易爆）和氯化氢（强酸性气体），都可以在系统中作为中间原料循环使用。而三氯氢硅提纯后，无法利用的氯
