作用。前电极采用光刻栅线的方法在SIO2膜上开出电极栅线条,再用热蒸发法制备TI/PD/AG电极。在衬底的背面蒸镀AL或TI/PD/AG,得到背电极。用这种方法得到的硅薄膜电池的效率已达到12.11
栅线/p+多晶硅膜/n多晶硅膜/n++C-硅/金属接触。采用扩硼形成p+层,结深约为1m,电池面积为1cm2,AM1.5、100mV/cm2条件下,无减反射涂层,电池转换效率为4.54%,Jsc
/CulnSe2太阳电池
2.1 CUInSe2薄膜材料的结构特性
Cu1nSe2(CIS)是一种三元Ⅰ-Ⅲ-Ⅵ2族化合物半导体,具有黄铜矿、闪锌矿两个同素异形的晶体结构,其高温相为
正面有20一40μm的SiO2膜,在膜上真空蒸发金属栅线,整个表面再沉积SiN薄膜。SiN薄膜的作用是:①保护电池,增加耐候性;②作为减反射层(ARC);降低薄膜复合速度:①在p-型半导体一侧产生一个n
电池,在发射结扩散后,用激光在前面刻出20μm宽、40μm深的沟槽,将槽清洗后进行浓磷扩散。然后在槽内镀出金属电极。电极位于电池内部,减少了栅线的遮蔽面积。电池背面与PESC相同,由于刻槽会引进损伤,其