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生产，具有吞吐量高、性能卓越、拥有成本低，并且具有紧凑的外形尺寸等特点。通过其灵活的结构设计可实现溅射，反应溅射和热蒸发镀膜，是Mo（钼），TCO（透明导电氧化物）和CIGS等太阳能薄膜制备的理想工具
优化工艺条件，可极大提高原料的利用率和降低镀层厚度的不均匀性（NU）。Veeco目前针对薄膜太阳能电池的大规模生产向客户提供钼、CIGS及TCO沉积层的集成制造解决方案。经生产验证的CIGS热沉积源

Lowell生产，具有吞吐量高、性能卓越、拥有成本低，并且具有紧凑的外形尺寸等特点。通过其灵活的结构设计可实现溅射，反应溅射和热蒸发镀膜，是Mo（钼），TCO（透明导电氧化物）和CIGS等太阳能薄膜制备
的沉积系统并优化工艺条件，可极大提高原料的利用率和降低镀层厚度的不均匀性（NU）。 Veeco目前针对薄膜太阳能电池的大规模生产向客户提供钼、CIGS及TCO沉积层的集成制造解决方案。经生产验证的

目前商业化生产的薄膜硅太阳能电池主要分为非晶硅(a-Si)薄膜和非晶/微晶硅 (a-Si / μc-Si) 叠层薄膜。其生产工艺首先是在玻璃基板上制造透明导电氧化物(TCO)，然后再通过PE C V
D方法沉积p型、i型和n型薄膜，最后用溅射做背电极。目前工业化的TCO制备方法有溅射法(Sputter)和化学气相沉积法(CVD)，分别在玻璃基板上形成ZnO:Al或ZnO薄膜。化学气相沉积通常使用

三明治结构要求光阳极衬底必须具有透光性，因此透明导电玻璃（transparent conductive oxide，简称TCO）成为传统DSSC衬底的最佳选择，这也是目前研究者所普遍采用的。它是在玻璃
SOLARONIX公司三种不同FTO的紫外-可见光透过率曲线，从图中可以看出，导电玻璃在可见光范围内的最高透过率为90%左右，有一部分太阳光没有被利用，在远红外波段FTO的透过率在80%以下。选取TCO

　　TCO（Transparentconductingoxide）玻璃，即透明导电氧化物镀膜玻璃，是在平板玻璃表面通过物理或者化学镀膜的方法均匀镀上一层透明的导电氧化物薄膜，主要包括In、Sn
、Zn和Cd的氧化物及其复合多元氧化物薄膜材料。　　TCO玻璃首先被应用于平板显示器中，现在ITO类型的导电玻璃仍是平板显示器行业的主流玻璃电极产品。近几年，晶体硅价格的上涨极大地推动了薄膜太阳能

来自日本的研究人员开发出一种“纤维状无TCO染料敏化太阳电池(fiber-type TCO-less dye sensitized solar cell)”；这种太阳能电池是将染料敏化太阳电池层
透过增加光纤的长度或是减少纤维直径来克服。而该种新型太阳能电池与标准染料敏化电池的一个最大差异，是新电池并不使用透明电极(透明导电氧化物薄膜TCO)；研究人员计划利用尚未被现有染料敏化电池所使用的近红外线(near-infrared)能源，来产生电力。

来自日本的研究人员开发出一种纤维状无TCO染料敏化太阳能电池(fiber-type TCO-less dye sensitized solar cell)；这种太阳能电池是将染料敏化太阳能电池层
或是减少纤维直径来克服。而该种新型太阳能电池与标准染料敏化电池的一个最大差异，是新电池并不使用透明电极(透明导电氧化物薄膜TCO)；研究人员计划利用尚未被现有染料敏化电池所使用的近红外线(near-infrared)能源，来产生电力。（编辑：于占涛）

日本九州工业大学研究生院生命工程学研究系教授早濑修二领导的研究小组试制出了"纤维型TCO-less色素增感太阳能电池"，并在"第56届应用物理学会相关联合演讲会"（3月30日～4月2日，筑波大学
不同点并不是它的形状，而在于未使用TCO（透明电极）。九州工业大学的目标是："将此前色素增感型太阳能电池从未使用过的近红外线的能量用于发电"。因为透明电极无论是ITO类型还是FTO类型，均具有可视光透射率高、近

中国玻璃生产商信义玻璃控股将于今年下半年建成中国首条用于光能发电的光伏薄膜导电玻璃(TCO玻璃)生产线，公司行政总裁董清世表示，由于市场的需求庞大，未来公司会大幅扩充相关产能。信义玻璃由于看好
全球最大的光伏玻璃产能。至于TCO玻璃生产线，也将于第三季初投产，年产能为68万平方米。 “我们很关注行业走势和技术开发，会配合市场需要，不断去加大这业务。”董清世表示。他指出，TCO玻璃的初期产能很少

了面向全球开展业务的技术实力。比如，旭硝子展示了在玻璃底板上形成SnO2的TCO(透明导电性氧化物)膜实物。目标是通过利用了膜表面的金字塔形状的光密封效果将转换效率提高10～20%。TCO膜采用
面积，展示了面向全球开展业务的技术实力。比如，旭硝子展示了在玻璃底板上形成SnO2的TCO(透明导电性氧化物)膜实物。目标是通过利用了膜表面的金字塔形状的光密封效果将转换效率提高10～20%。TCO膜

40MW产量； 3、组件功率超过预期目标； 4、验证欧瑞康TCO前后电极设备适用于量产。 2009年2月19日－欧瑞康太阳能和富阳光电联合宣布了40MW的非晶硅薄膜
太阳能电池生产线提前一个月达到满量产。该生产线包含了欧瑞康太阳能创新的LPCVD TCO前后电极技术。平均组件功率和生产良率都超过了预期的合同目标。富阳光电在2008年10月已经拿到了IEC证书。这实现意味着

组件功率超过预期目标验证欧瑞康TCO前后电极设备适用于量产台北/台湾和Truebbach/瑞士，2009年2月19日－欧瑞康太阳能和富阳光电，中环集团的一个下属公司，今天联合宣布了
40MW的非晶硅薄膜太阳能电池生产线提前一个月达到满量产。该生产线包含了欧瑞康太阳能创新的LPCVD TCO前后电极技术，它无疑也验证了在过去6个月里其量产的能力。平均组件功率和生产良率都超过了预期的合同