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主要有PVD和RPD两种，相较于PVD，应用RPD工艺的HJT电池转换效率略高，然而受制于核心部件依赖进口且专利保护严密、靶材供应商少且成本较高、设备来源单一等问题，RPD并没有成为主流。 12月23日
。除此之外，捷佳伟创还推出二合一设备PAR5500，产品正面采用新型RPD，背面采用PVD，完美整合为一台设备与一套自动化，设备正面入光面TCO采用RPD兼具高穿透的光学特性与优异的电性，背面TCO

%，Kaneka的背接触式异质结电池达26.70%。捷佳伟创自主研发的二合一设备PAR5500，正面采用新型RPD，背面采用PVD，完美整合为一台设备与一套自动化，符合大产量异质结电池的量产，达到每小时5500片的
PVD靶材单耗将在2021年达135mg/pc，2025年降至122mg/pc;低温银浆耗量2021年达160mg/pc，2025年降至100mg/pc。整体来看，预测2021年异质结电池成本将降至0.9

，成为中国光伏装备第一股。捷佳伟创系业内较早开始开发HJT整线设备的厂商。HJT电池制备的第三道核心工序是制作透明导电膜，行业内主要采用 PVD(磁控溅射)和 RPD(反应等离子体沉积法)两种方式
核心工艺设备。捷佳伟创的RPD设备具备透光导电膜设备设计独特，相对传统的PVD设备具有表面损伤少、载子迁移速度高等技术优势，对于HJT电池转换效率的提升具有较大的贡献。RPD设备应用广泛，除应用于

2021年底量产有望达到24.8%-25%，叠层电池效率有望突破30%。HJT是十年长周期的好赛道。 HJT战略第一步：研制大产能CVD、PVD，实现整线设备国产化，打通整线工艺，降低CAPEX。迈为进入
2年内，关键设备产能增长3倍，单GW设备投资下降50%，当前1GW设备投资4.5亿不到。目前已实现了PECVD、PVD、印刷测试、自动化、BCS系统的自制，清洗制绒与YAC合作。印刷环节当前受限于浆料

本篇报告认为设备是解决 HJT 效率提升和成本下降两大产业化难题的关键点之一，结合 HJT 电池的制造特点，通过梳理主流厂商 PECVD 和 PVD 设备的工艺技术路线、设计理念和发展现状，探究了
HJT 设备产业化的发展潜力，认为通过多角度挖潜，PECVD 和 PVD 设备降本提效仍具挖潜空间，看好国产设备厂商与下游电池厂商共同推进 HJT 产业化到来。 HJT 设备产业化：量产稳定性

技术路线首选，蒋方丹介绍道，目前大硅片在HJT上的应用障碍是量身定做的设备，例如CVD和PVD，但这只是时间问题。但同时，蒋方丹也提出了当下异质结技术产业化仍面临诸多挑战，量产
产能的核心设备如CVD和PVD也将进一步成熟，因此2021年下半年预计将吸引GW级的HJT产能扩充，单个项目几个GW的大规模产业化预计在2022年。面对即将全面平价的十四五以及2060年碳中和目标

开发异质结电池PECVD设备。并且，由于HJT电池产线需要用到的CVD(化学气相沉积)设备和PVD设备，相关设备已在其他领域进行应用，要拿来应用到异质结电池生产上不会有太大的技术难度。虽然设备的
沉积法，设涉及PECVD和Cat-CVD，对设备有所要求;三是TCO膜制备，PVD所使用的的靶材生产企业较多，且基本不受专利限制，因此企业多采用PVD方式成膜;四是丝网印刷，HJT电池成本中占比较大的

，开始在硅片两侧沉积本征非晶硅薄膜，然后再沉积极性相反的掺杂非晶硅薄膜。再下一步，开始制备TCO薄膜，TCO的制备主要通过物理气相沉积(PVD)技术的溅射来完成。最后，在TCO顶部进行表面金属化
通过与其合作具备了RPD产品供应能力;冯阿登纳、新格拉斯等外资企业基于PVD的工艺也推出对应的产品，但由于ITO靶材性价比相对较低，且PVD工艺在镀膜质量上较RPD仍存在一定差距，因此PVD尚未

首家采用国际最先进的清洗制绒机、PECVD非晶镀膜机、PVD沉积导电膜机和电极印刷机，匹配自主研发的高效工艺技术路线，产品三十年无光衰，项目为黑灯柔性智能无人车间，全部采用物联网+管理系统的高智能无人
PECVD及一套丝网印刷线，产能8000片/时)和两套合计0.6亿元的PVD设备订单(合计产能13500片/时)，理想万里晖中标一套0.55亿元PECVD设备(产能4000片/时)，苏州中辰昊科技中标一套0.19亿元丝网印刷线。

亿元的PVD设备订单(合计产能13500片/时)，理想万里晖中标一套0.55亿元PECVD设备(产能4000片/时)，苏州中辰昊科技中标一套0.19亿元丝网印刷线。回顾近两个月，异质结
PVD设备的覆盖生产，超出了市场预期。据了解，开盛新能源的投资方为宣城开盛建设投资集团，集团背靠宣城国资委，资金实力雄厚(宣城开盛建设投资集团系宣城经济技术开发区管理委员会100%控股，集团总资产