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该激光消融设备中，532nm激光从激光器输出后，先经过两路全反射镜反射，再经过扩束镜、手动光阑后输入激光扫描振镜、聚焦透镜，最后输出经过聚焦后的激光。 2. 激光经过1号反射镜，让其传输方向改变90
可以保证激光传输过程中功率损耗降到最小)通过2号反射镜后的激光，经过扩束镜中心输出，直至扫描振镜输入端中心输入。 4. 设备运行一段时间后，需要打开防护盖板，确认反射镜、扩束镜、光阑固定螺丝是否松动

、离子镀、RPD反应离子沉积等)、CVD(PECVD、LPCVD等)和ALD原子层沉积等真空镀膜设备上拥有先进技术和高端装备制造经验，形成工艺研究设备、规模化产线设备系列化产品，广泛应用于光伏、半导体、显示、纳米科技、化工、制药等领域，并拥有GW级光伏电池产线核心技术和设备制造经验。

, 并为新能源、柔性电子、半导体和纳米技术等多个工业领域的产业化生产提供整体解决方案。微导在短时间内，成功开发出用于光伏、柔性电子、半导体、LED和MEMS等工业的ALD和RIE产业化设备，产品具有国际先进水平。微导的使命是通过尖端技术和不断创新促成我们客户的先进产品和市场先机。

近日，江苏微导纳米科技股份有限公司宣布其研发的全球首台适用于TOPCon技术的ALD设备正式进入量产阶段。微导研发的祝融系列(ZR4000X2)薄膜沉积设备平台，用于Topcon电池生产
设计理念。平台能很好地与目前量产PERC工艺兼容，技术首次通过一台设备完成三种工艺，相对于传统LPCVD设备沉积技术，将大幅改善N型电池正面多晶硅绕度面积与掺杂多晶硅镀膜速率降低的影响。设备兼容性还体现

江苏微导纳米科技股份有限公司研发的全球首台适用于TOPCon技术的ALD设备正式进入量产阶段。微导研发的祝融系列(ZR4000X2)薄膜沉积设备平台，用于Topcon电池生产技术，产品已交用户使用
能很好地与目前量产PERC工艺兼容，技术首次通过一台设备完成三种工艺，相对于传统LPCVD设备沉积技术，将大幅改善N型电池正面多晶硅绕度面积与掺杂多晶硅镀膜速率降低的影响。设备兼容性还体现于硅片尺寸

浆料。 3) 检测设备：膜厚测试设备SE400 椭偏仪、D8-4 积分反射仪、少子寿命测试仪WT-2000、JJ224BC 电子天平、蔡司Axio Scope A1 显微镜、Gemini
Sigma 300 SEM 场发射扫描电镜、I-V 测试设备Berger PSS10。 1.2 制备流程采用氧化铝浆料制备黑硅PERC 多晶太阳电池的工艺流程为：①黑硅制绒②扩散③刻蚀去PSG ④背面

。高转换效率有望持续降低度电成本，提高制造业核心竞争力。光伏发电最终以实现平价上网为目标，产业降本是必经之路。成本优势的主要来源包括： 1)设备或辅材、能源等设备的价格优势：主要依赖于设备

美国固定设备制造商Amtech Systems Inc(NASDAQ：ASYS)预计将于1月份完成其Tempress太阳能业务的出售，这将标志着其退出光伏(PV)领域。这家固定设备
太阳能电池的原子层沉积(ALD)的机器。执行董事长兼首席执行官J S Whang评论说：我们有信心，通过剥离太阳能，我们有能力实现有利可图的增长并为所有利益相关者提高价值。今年7月，这家位于美国的

，电池向PERC升级催生了大量设备投资需求，且其中大部分环节正在进口替代过程中，考虑到较长的调试与交付周期，预计核心装备公司近几年业绩弹性和确定性都比较强。摘要 1.PERC电池产业开始进入全盛
设备由于在性能、价格、服务上都具备优势，在常规电池线设备环节正在全面的进口替代，其中，丝网印刷等环节已经基本完成国产化，常规PECVD、扩散、蚀刻等环节的设备，国产设备也开始占据高份额，PERC的

的技术进步推动成本持续下降：光伏行业的核心是技术进步推动成本下降，最终实现平价上网。PERC技术仅在增设两台设备的情况下，提高效率1%以上的提升，2018年PERC技术将成为标配。未来，高效电池片将成
，主要受政治不确定、设备价格上涨影响。总体来看，2017美国光伏装机量保持稳定，预计2017年全年安装量会超过8GWdc。新兴城市需求启动，装机量持续上升：美国各州逐步推出可再生能源投资组合标准

更有优势，但主要设备与现有产线不兼容。至于Topcon技术，电池效率较高，工艺和设备可以与常规PERC电池兼容。但双面衰减率低，工艺步骤多、成本较高、银浆消耗量大，在BBr扩散、硼离子注入、制备
双面掺杂层等方面还面临一些挑战。 PERC电池衰减问题如何解决? 效率衰减一直是单晶PERC电池产品亟待解决的问题，量产技术的成熟度和性价比则是决定电池技术量产效率的关键。 ALD 三氧化二铝薄膜

程的除水除冰监控装置可破坏凝露产生的条件，排除箱体内的水汽，避免凝露对电站造成损害，得到了客户的广泛好评。详细内容《《《《 2.江苏微导黎微明:ALD可大幅降低PERC生产成本，减少衰减
2019中国国际光伏技术论坛(CITPV)在杭州举行。在电池结构及制备工艺的分论坛上，江苏微导纳米装备科技有限公司CTO黎微明指出，ALD正逐步取代PECVD成为主流钝化技术，降低了PERC生产成本

于2015年底，从2016年上半年开始正式投入运作。截至去年，微导ALD设备市场占有率达到80%。目前，有超过20家电池厂商采用微导的ALD设备及技术，累计出货超过140多台。数据显示，微导总装机量在全球背钝化部分是全球第一，现在总装机量已经接近40GW。