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太阳能光伏发电是新能源的重要组成部分，近年来在国内外受到了高度重视并迅速发展。光伏发电的核心技术晶体硅电池技术也在取得持续进步。钝化发射极及背局域接触电池（PERC）最早是由新南威尔士大学研发的
的硅片原始厚度为180~190m，硅料消耗成本大幅降低，极大地促进了光伏产业的迅速发展。采用金刚线切割技术可以切割出厚度为100m的硅片，将超薄电池的工艺技术又推进了一步。Jan Hendrik

P型晶硅背发射结，再用ALD法生长Al2O3钝化层钝化背面。外延法生长背面P型发射结技术目前仍然处理实验室研究阶段，其量产可能性还有待验证。　　图10 IMECPERT电池结构示意图
单晶组件具有弱光响应好、温度系数低等优点。因此，N型单晶系统具有发电量高和可靠性高的双重优势。根据国际光伏技术路线图（ITRPV2015）预测：随着电池新技术和工艺的引入，N型单晶电池的效率优势会越来越

暂时缓解了背面钝化的问题，但并未根除，开孔处的高复合速率依然存在，而且使工艺进一步复杂。近几年来，一种既能实现背面整面钝化，且无需开孔接触的技术成为机构研究的热点，这就是钝化接触(Passivated
Contact)技术。当电池两面均采用钝化接触时，还可能实现无需扩散PN结的选择性接触(Selective Contact)电池结构。本文将详细介绍钝化接触技术的背景，特点及研究现状，并讨论如何

供不应求，今年PREC全球产能不至于剧烈提升。展望明年，除了主流机台仍旧订单满载之外，无法顺利购得机台的厂商为了不失去竞争力也会再做更多尝试，届时除了用PECVD镀氧化铝之外，也会有厂商选用ALD技术
市场。而在各种高效产品中，PERC性价优势最优，拥有高度产业竞争力。PERC的崛起商用屋顶型、住宅型市场的火热程度和组件的输出功率密不可分。虽太阳能电池靠着硅片、导电浆技术改善以及工艺优化，转换效率逐年

，届时除了用PECVD镀氧化铝之外，也会有厂商选用ALD技术，或是不愿冒机台风险的厂商可能会重新评估采用长兴材料集团的方式：以现有设备搭配独特氧化铝浆料的方式呈现PERC的效果，这都将让PECVD不再
技术改善以及工艺优化，转换效率逐年持续进步，但随着分布式系统日益兴起，市场更需要性价比高、转换效率也高的产品;适时，台湾厂商旭泓和昱晶的PERC电池成功量产，开启了以PERC技术提升效率的旋风。细数

高效产品中，PERC性价优势最优，拥有高度产业竞争力。上半年主要高效市场　　PERC的崛起商用屋顶型、住宅型市场的火热程度和组件的输出功率密不可分。虽太阳能电池靠着硅片、导电浆技术改善以及工艺优化
，转换效率逐年持续进步，但随着分布式系统日益兴起，市场更需要性价比高、转换效率也高的产品；适时，台湾厂商旭泓和昱晶的PERC电池成功量产，开启了以PERC技术提升效率的旋风。细数过去的技术历史

几乎不反射，只吸收，颜色也当然会是黑色。黑色的硅就是工程师们努力的目标，一般来说要制作抗反射层，需要把硅表面蚀刻出微米甚至是奈米状的粗糙结构，结构越小越细，反射率就会越低。这项技术本身并不难做到
（Polytechnic University of Catalonia）共同发现利用原子层沉积（AtomicLayer Deposition， ALD）将氧化铝覆盖在黑硅表面作为钝化层，可以有效抑制电子在表面的损失，将

宣布这一消息，SolarWorld宣扬其是首家在生产中依靠钝化发射极背面电池(PERC)技术的公司的事实，三月开始将其约800MW的生产线升级为新的模式提升产能。 PERC架构包括电池背面的一个
钝化层，其反射光，否则光将会损失，有效提高可以被捕获并转化为电能的光的量，使转换效率超过20%。该层通常通过PECVD或ALD工艺形成。最近，中国制造商无锡尚德的总裁熊海波在接受采访时表示，其

。日前宣布这一消息，SolarWorld宣扬其是首家在生产中依靠钝化发射极背面电池(PERC)技术的公司的事实，三月开始将其约800MW的生产线升级为新的模式提升产能。PERC架构包括电池背面的一个
钝化层，其反射光，否则光将会损失，有效提高可以被捕获并转化为电能的光的量，使转换效率超过20%。该层通常通过PECVD或ALD工艺形成。最近，中国制造商无锡尚德的总裁熊海波在接受PV-Tech采访时表示

创新的Olympia系统确立了应用材料公司在原子层沉积技术领域的前沿地位独特的模块化架构可生产出各类高质量ALD薄膜，并且在不牺牲产量的前提下支持关键低温工艺 Olympia系统已被多家芯片
)系统。该系统采用独特的模块化架构，为先进3D内存和逻辑芯片制造商带来了高性能ALD技术。3D设备的兴起推动了对新型图形转移薄膜和新共型材料的需求，以及降低材料热预算的要求。在这一背景下，ALD技术

索比光伏网讯: 创新的Olympia系统确立了应用材料公司在原子层沉积技术领域的前沿地位独特的模块化架构可生产出各类高质量ALD薄膜，并且在不牺牲产量的前提下支持关键低温工艺
layer deposition, ALD)系统。该系统采用独特的模块化架构，为先进3D内存和逻辑芯片制造商带来了高性能ALD技术。3D设备的兴起推动了对新型图形转移薄膜和新共型材料的需求，以及降低材料热

采用普通金字塔制绒，硼扩散，ALD氧化铝加PECVD氮化硅钝叠层起到钝化和减反射效果。背面采用上述TOPCon技术，正反金属化采用蒸镀Ti/Pd/Ag叠层实现，电池开路电压达到690.4mV，填充因子
暂时缓解了背面钝化的问题，但并未根除，开孔处的高复合速率依然存在，而且使工艺进一步复杂。近几年来，一种既能实现背面整面钝化，且无需开孔接触的技术成为机构研究的热点，这就是钝化接触(Passivated

高达22.1%的太阳能电池单元。据介绍，这是通过黑硅（Black Silicon）技术实现的。22.1%的转换效率是由德国Fraunhofer ISE CalLab确认的。该技术仍处于研发水平，不过，继松下
黑硅技术的要点是：（1）通过将表面加工成长度为0.8m左右的剑山形状，大幅减少了反射；（2）背面电极型；（3）在单元正面和背面形成防复合膜（钝化膜），从而减少了电子与空穴的载流子复合。阿尔托大学从

（Universitat Politecnica de Catalunya）的研究人员开发出了转换效率高达22.1％的太阳能电池单元。据介绍，这是通过黑硅（Black Silicon）技术实现的，相关论文已
发表在学术杂志《自然纳米技术》（Nature Nanotechnology）上。22.1％的转换效率是由德国Fraunhofer ISE CalLab确认的。该技术仍处于研发水平，不过，继松下、夏普

美元。Amtech首席执行官Fokko Pentinga评论道：该季度订单继续以健康的速度增长，我们的订单处于过去三年的最高水平。我们储备的产品结构，包括PECVD、离子注入及原子层沉积系统(ALD)，是我们
中国境内外生产，我们很高兴能够全面参与该行业的选择性产能扩张及技术改造。Amtech表示，其预计财年第三季度收入为三千三百万至三千五百万美元，较上季度明显提高。然而，该公司指出，由于出货量水平提高，运营利润率略有下降，毛利率将受到收入延期的负面影响。