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10～20s提高到100～120s，同时利用激光对Al2O3/SiNxHy层叠薄膜进行局部开孔，使铝浆能通过孔洞与硅片形成良好的欧姆接触。本文研究工业生产中工艺参数与PERC电池转换效率之间的关系，分析
有所降低，尤其填充因子降低明显，这可能是后续工序的激光能量偏低，对开膜部分的Al2O3薄膜清除不彻底，影响了铝浆与硅片之间的欧姆接触而导致。 3 烧结曲线对电池片性能的影响 3.1烧结温度对铝硅合金层

氮化硅减反叠层膜设计模拟及多次实验对比，在保证电池钝化效果同时逐步降低双面电池背面反射率，提升背面吸收率。背面网板设计、浆料选择双面电池关键点在于背开槽激光与丝网二道铝浆对准，在激光与丝网厂商
协助优化下，逐步降低背栅线宽至目前100微米;在背栅线宽下降同时进行背栅数量优化降低背遮光面积，并配合不同性能铝浆实验，降低接触电阻，提升电池效率及双面率。

，大容量逆变器价格比普通逆变器略低，可以使初始成本减少约0.2元/W。 3 双面电池组件红外光可穿透降低工作温度，双面受光可垂直安装双面电池背面采用铝浆印刷与正面类似的细栅格，背面由全
。电池背面效率略低于正面，背面透光导致正面效率略降：由于激光开孔点仍然需要栅格来疏导光生电流，故电池背面大部分区域仍覆盖了Al/Ag浆，且铝栅格导电性不如银栅格，故铝栅线较宽，背面覆盖率高达30

丝网某线分别使用这两种背场浆料时的划伤比例，具体数据如图7所示。划伤差异较小，所以铝浆为非要因。 2.2.6原因六：检验操作方法差异安排同一检验员检验同一批电池片，分别采用滑动检验和
、团状有起始点，明显是有异物摩擦所致,如铝珠、铝刺等，且是三个车间共性; (2)氮化硅磨伤,无明显起始点，位置较一致，且C车间与AB车间相比，比例有明显差异; (3)线状无明显起始点，线条较细且多条

Al2O3/SiNxHy层叠薄膜进行局部开孔，使铝浆能通过孔洞与硅片形成良好的欧姆接触。本文研究工业生产中工艺参数与PERC电池转换效率之间的关系，分析工艺参数对硅片少子寿命的影响，并得出少子寿命与
，这可能是后续工序的激光能量偏低，对开膜部分的Al2O3薄膜清除不彻底，影响了铝浆与硅片之间的欧姆接触而导致。 3 烧结曲线对电池片性能的影响 3.1烧结温度对铝硅合金层厚度的影响为了研究烧结温度

将硅片的有效载流子寿命由10～20s提高到100～120s，同时利用激光对Al2O3/SiNxHy层叠薄膜进行局部开孔，使铝浆能通过孔洞与硅片形成良好的欧姆接触。本文研究工业生产中工艺参数与PERC电池
增加到25nm后，电池转换效率反而有所降低，尤其填充因子降低明显，这可能是后续工序的激光能量偏低，对开膜部分的Al2O3薄膜清除不彻底，影响了铝浆与硅片之间的欧姆接触而导致。 3 烧结曲线对电池片

TMA耗量的不同，如图5所示。同时，为了避免后续金属化烧结过程铝浆对钝化膜的破坏，再要额外沉积一层100-150nm厚度的氮化硅，一方面可以保护氧化铝钝化膜，另外还可以提升背面减反效果。图
氮化硅叠层膜热熔掉，然后在金属化烧结过程中让铝浆和此区域的硅形成铝硅合金的接触。根据激光种类的划分，分为纳米激光和皮秒激光两种，供应商主要有Innolas、Rofin、3D-Micromac、台湾友晁

电子材料股份有限公司硕禾电子材料股份有限公司原属于国硕科技的太阳能材料化学事业部，于2006年起由国硕陈继仁博士所带领的研发技术团队，结合工研院太电中心的高效率太阳能技术、工研院材料所合作计画，与工业局辅导计画，开始研发适用于太阳能电池之各项导电浆料（正面银浆、背面银浆、背面铝浆）。