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％（AM1.5）的效率。（B）钝化发射区和背表面电池（PERC）：铝背面吸杂是PEsC电池的一个关键技术。然而由于背表面的高复合和低反射，它成了限制PESC电池技术进一步提高的主要因素。PERC和PERL
Si／c-Si异质pp+结高效电池SHARP公司能源转换实验室的高效光伏电池，前面采用绒面织构化，在SiO2钝化层上沉积SiN为A只乙后面用RF-PECVD掺硼的c一Si薄膜作为背场，用SiN薄膜作为

change process被英国皇家化学会权威期刊Journal of Materials Chemistry以封面文章刊登(2012, 19, DOI:10.1039/C2JM30621B)，并被列为亮点
文章（Feature Articles）。该论文首先提出了一种制备亚稳态纳米材料的普适性方法无接触相变方法。使用廉价的微米级颗粒作为原料，采用等离子体、火焰等高温束流加热并完全蒸发微米颗粒，蒸气在无接触

沉积速率的影响根据这现象，提高薄膜沉积均匀性的措施有：提高气体流速和装置的尺寸B；调整装置内温度分布，影响扩散系数的分布。二、实验方法本文针对的是管式PECVD设备的流量实验，在石墨舟的前后依次沿轴线
索比光伏网讯:氮化硅膜作为晶体硅太阳能电池减反射钝化膜是目前太阳能电池制备的主流，然而由于用PECVD来制备的氮化硅膜，是以SixNyHz方式来表达的，其中的x,y,z的数值直接影响了膜的光学性能和

索比光伏网讯:制备可伸缩的太阳能电池，要使超薄太阳能电池附着到预先拉伸的弹性塑料上。（a）超轻柔性有机太阳能电池，（b）包裹
。（c）可伸缩的太阳能电池在制备时，要使超薄太阳能电池附着到预先拉伸的弹性塑料上。来源：东京大学开发者是澳大利亚和日本

索比光伏网讯:将植物里的叶绿素提取出来，放到人工制备的膜里，光照时就会产生电。这就是叶绿素电池。目前，全球每年至少要消耗13太瓦(1太瓦=1万亿瓦)能源。石油等化石能源的不可再生性，决定了人们必须
。目前已有产业化的晶体硅(单晶硅、多晶硅)太阳能电池，部分投产的薄膜电池(非晶/微晶硅硅基薄膜、碲化镉和铜铟镓硒)，以及主要处于研究中的染料敏化电池、有机薄膜电池等。一种叶绿素太阳能电池，因为尽可能模仿了

。通过改变工艺气体的流量，对各项技术指标进行测量分析，结合国内外的一些文献，得出了工艺气体流量对氮化硅膜的直接影响，同时也直接导致了电池转换效率的变化。通过这些研究为制备高性能电池减反射膜提供实验基础，为
我国的太阳能电池转换效率进一步提高提供一条途径。　　关键词：等离子体增强化学气相淀积；PECVD，太阳电池；氮化硅　　0引言　　氮化硅膜作为晶体硅太阳能电池减反射钝化膜是目前太阳能电池制备的主流

电源系统，控制器和逆变器为控制保护系统，用户负载为系统终端。从上世纪70年代中期开始地面用太阳电池商品化以来，晶体硅就作为基本的电池材料占据着统治地位。以晶体硅材料制备的太阳能电池主要包括：单晶硅太阳电池
、多晶硅太阳能电池、非晶硅太阳能电池和薄膜晶体硅电池。单晶硅电池具有电池转换效率高，稳定性好，但是成本较高；非晶硅太阳电池具有生产效率高，成本低廉，但是转换效率较低，而且效率衰减得比较快；多晶硅

低（掺B），符合多晶标准，基本都低于0.5%。我们通过凤凰光伏阿波罗准单晶产品的技术参数，来详细了解一下该技术。凤凰光伏阿波罗准单晶产品技术参数表据了解，目前已经超过10家公司在试用凤凰光伏阿波罗准
，晶种制备。研究发现，准单晶晶种制备方向将朝着超大超薄的方向发展；第三，精确熔化控制。这一环节非常难以控制，它决定准单晶是否能够稳定生产，因此需要一个与之对应的精准熔化控制设备。据了解，为获得稳定的

共聚成类似于 EAA的聚合物。它含有与 EVA相似的结构单元，与EVA共混有很好的相容性，可制成透明的薄膜，这样就在EVA 中掺杂了铕元素。a 丙烯酸铕的制备在500 mL三口烧瓶中加入7.04g
冷却，得固态的AAEu，用甲醇洗至中性；b 乙酸乙烯酯与丙烯酸铕的共聚在500mL的四口烧瓶中，加入上述制备的AAEu和140mL的甲醇在68℃溶解，在此温度下分别滴加140gVA和40mL含有

保护这种半导体，只要采用一种统一的薄层，这种薄层厚度只有几纳米。 a，示意图显示电极结构。b，扫描电镜显示的电极顶视图，是在原子层沉积之后，这样沉积的是5（4纳米氧化锌/0.17纳米三氧化二铝
，只需覆盖半导体，盖上原子薄膜，这要使用原子层沉积（ALD：atomic layer deposition）技术。主管是迈克尔格洛采儿（Michael Grtzel）教授，他们是在洛桑联邦理工学院光子

治理研究方面，取得了一系列成果。一是分别利用Ar/H2O，Ar/NH3，Ar/O2微波等离子体对碳纳米管进行表面处理，使其表面引入含氧、含氨基等功能基团，提高了碳纳米管的亲水性和分散性，使其可制备
，制备碳纳米管/有机物复合材料。等离子体制备的复合材料表面具有各种功能基团，这些功能基团对持久性有机污染物（POPs）、有毒有害的重金属离子、放射性核素具有强的吸附、络合能力，因而提高了复合材料对污染物的

转化方面取得了新的进展，成功地完成了新型的石墨烯-半导体量子点非共价复合材料体系材料制备，实现了具有光电转化性能的透明导电薄膜。通过QDs的配体置换，和利用π-π相互作用，解决了两者在水溶液中共溶以及
共价复合体系形成示意图图2.石墨烯-量子点复合体系薄膜以及光电性能。(a)石墨烯柔性透明薄膜。(b)石墨烯-量子点复合体系薄膜。(c)石墨烯-量子点复合体系薄膜器件。(d)石墨烯、量子点以及复合体系光吸收。(e)石墨烯-量子点复合体系薄膜透过率。(f)石墨烯-量子点复合体系薄膜光电响应。

，得到转换效率较高的多晶或薄膜光电极，这些方法价格低廉、简单易行，多数还可适用于大面积制备。在CdX（X=S、Se、Te）化合物中CdS的能隙较大（Eg=2.4eV），只能吸收小于517nm波长的太阳光
（钛、铬、钼、铂）、非金属基底（二氧化锡、石墨、破碳）上都可成功制备性能稳定、重现性好的CdSe薄膜电极。在金属基底CdSe薄膜结合力强，界面电阻小，经过电极表面的化学刻蚀和光化学刻蚀获得了7％的能量

钛薄膜涂层的氧化锌纳米线的染料太阳能电池效率高出47%。新型的三维染料太阳能电池在科研和实际应用中具有以下突出特点。从物理学的角度来看，以纳米线为基础的二维染料太阳能电池的表面面积较小，从而限制
了染料的加载和对太阳光的吸收。增加纳米线的长度可以增大表面积，但纳米线的长度受到材料制备和电子扩散长度的限制。三维染料太阳能电池的独特结构克服了上述困难：入射太阳光在光纤内多次反射，在不增加电子输运

该公司的举措进行了介绍：（a）改进形成电极的丝网印刷，把单晶硅太阳能电池的转换效率提高到接近18％；（b）借助利用激光形成微细布线的“Pluto技术”使单晶型的转换效率提高到18.8％，并且在2年内达到
，研究机构）合作正在开展之中。2009年1月5日，国家发改委正式批复，同意建设中硅高科多晶硅制备技术国家工程实验室。该实验室的目的是研究中国的多晶硅制造工程课题——大规模且节能的高品质多晶硅制造技术

解决方案。新型SOLARIS涂层系统的现场演示（B6/26展位）突出表明，该系统在光伏产业的受欢迎程度越来越高。　　欧瑞康系统事业部负责人Andreas Dill补充说，“目前在全球有大量客户对
。” 　　例如，晶体太阳能电池的正面需要一个防反射层，背面需要一个接触层。目前，反射层采用PECVD工艺涂覆，背面接触层采用丝网印刷方法制备；传统的生产设备体积庞大，必须经常清洁和保养，需要另外配备洗涤器等

积极的推动作用。　　以顺大电子材料科技有限公司为代表，采用了改良西门子法生产高纯多晶硅，并对一些关键技术和工艺进行自主开发和创新，许多领域都填补了国内空白，多晶硅制备技术、工艺和产品质量达到国内
多晶硅耗电135度左右。　　更环保——对生产多晶硅而产生的混合尾气三氯氢硅、四氯化硅、二氯二氢硅等全部回收、分离，在自身系统内循环或转化后再利用，无污染。　　用料省——制备1吨多晶硅仅需5吨

有稍微的翘曲，从而造成平行板电极间距的不一致，也会造成片间不均匀。另外，等离子体直接法在大面积沉积时会造成由于高频波长所带来的附加的不均匀性。　　各种方法制备的薄膜的质量也略有不同，原则上讲，由于直接
特性和减反射特性都要优越得多。几种PECVD技术的薄膜质量的比较列于表4中。表4 各种PECVD技术制备的薄膜质量技术种类表面损伤表面钝化晶界钝化

、多晶硅电池片平均效率分别可达17%和15.8%。决定电池效率的因素主要分散在电池生产的各道工艺环节当中，从硅棒生长、切割，到电池的制备。就电池制备而言，又先后经历制绒清洗、扩散、镀膜
增强化学气相沉积)技术，将具有减反射效果的SiNx薄膜镀在电池受光表面，增大光吸收量。目前有3种类型的进口设备，国产化设备研制也已迈开步伐。丝网印刷技术是目前简单可靠、精密且低成本的

领域中继风力发电之后产业化发展最快、最大的产业。目前，光伏发电中的太阳能电池仍然是以晶体硅太阳电池为主，一枝独秀、市场份额达90%，大面积商品化太阳电池效率可达到18-19%。其次是非晶硅薄膜太阳电池
难以覆盖地区居住的家庭个人出资购买光伏系统用于生活和生产用电（个人出资，不排除其中部分用户得到了政府或机构少量的补贴）。　　(b)国家为农村电力建设实现通电目标而进行的基础设施建设项目（国家投入、政府