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)表征结果表明：电池片的背钝化效果恶化，组件功率明显衰减;越靠近组件边框，电池受到的电势越大，Na+迁移率越高，因此边框周围的电池片发生PID衰减的概率更大，如图3所示。图1 PID测试后
电站投资商损失惨重。近两年双面发电组件由于可以大幅提升电站投资商收益，所以得到了大规模发展及应用。双面组件的PID问题得到了业界的广泛重视。 PERC双面电池背面的钝化膜AlOx/Si界面

工艺会导致材料出现结构损伤，划槽操作通常会从电池背面进行，以避免p-n结出现分流通路;如果背面金属层有一道小的开口，激光工艺可以采用更为高效的方式进行。对于采用完整背面金属化的钝化发射极和背电极
切片电池技术对于新的光伏组件产能来说是极具吸引力的。动机如今越来越多的光伏组件生产商开始提供半切片电池组件。根据ITRPV2018的信息，半切片电池光伏组件在未来10年的市场份额将接近40

，提高了少子寿命，从而提高转换效率。其实，早在1984年Soder就全面综述了硅太阳能电池的接触电阻理论，分析了不同金属功函数和硅表面掺杂浓度对接触电阻的影响。形成SE结构的技术方案有很多，但大多数都要
求配套相关的新设备与辅材。PERC流行之前，SE电池大规模推广面临着投资成本巨大，高能耗，工艺整体耗时长等困境。 PERC的流行带火了SE。SE技术处理过的电池相比传统太阳电池有0.3%的提升，SE

的复合，提高了少子寿命，从而提高转换效率。其实，早在1984年Schroder就全面综述了硅太阳能电池的接触电阻理论，分析了不同金属功函数和硅表面掺杂浓度对接触电阻的影响。形成SE结构的技术方案有
很多，但大多数都要求配套相关的新设备与辅材。PERC流行之前，SE电池大规模推广面临着投资成本巨大，高能耗，工艺整体耗时长等困境。 PERC的流行带火了SE。SE技术处理过的电池相比传统太阳电池有

在参观展会或拜访业内厂家时，我们常常会发现，那么多有责任心的PERC生产技术人员竟从未听说过PERC组件可能会出现严重衰减，尤其是热辅助光致衰减(以下简称LeTID，又名电致衰减，简称CID)，这
低于2USct/kWh。未来几年, 这一数字会降至约1USct/kWh及以下，从而令每个人都能够负担用电。这也是高效率低成本新技术所取得的成就，例如像用在水平单轴跟踪系统这种简单跟踪系统中的

电池技术研发项目，激光掺杂DSE 高效电池技术项。 2017：无网结网版印刷技术的研究项目，1500V系统电压组件的研究项目，切片组件提升功率的研究项目，PERC背钝化浆料技术的研究项目，晶硅太阳能电池

% ;第二阶段是加入热氧化工艺，并优化刻蚀、扩散匹配，效率提升至 21.7%;第三阶段，即将规模推广的 SE 技术效率将提升至量产 22% 。无论处于何种工艺阶段，核心的背钝化膜层的生长设备选型十分重要

了杂质引入的原因以及解决途径，从而显著减小了黑斑片产生的几率。 0 引言晶硅电池组件广泛应用于光伏发电行业并形成相当大的产业规模，提高电池转换效率、减少电池的不合格率、优化生产工艺技术是降低
单面镀膜SiNx∶H钝化，以及背面电极、背面电场和正面栅线电极印刷，最后经过高温烧结形成较好的欧姆接触。利用苏州中导光电设备有限公司生产的红外缺陷测试仪EL-S01对生产线上电池片进行测试

，PERC) 电池是一种发射极与背面双面钝化的太阳电池。通过ALD技术，在电池片背表面沉积一层Al2O3，然后再使用等离子化学气相沉积法(Plasma Enhanced Chemical
内容摘要介绍了一种通过调整背钝化工艺改善多晶硅背钝化电池缺陷的方法。采用背钝化新型电池片工艺，在正常生产过程中EL会呈现有规律的区域发暗，严重影响电池片性能。本文通过优化PECVD工艺时间和退火