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，SJT等)，通常以n型晶体硅作衬底，宽带隙的非晶硅作发射极，典型结构如上图所示。该电池具有双面对称结构，n型硅衬底两侧两层薄本征非晶硅层，正面一层P型非晶硅发射极层，背面一层n型非晶硅膜背表面场;在两侧
温度(~900℃)。低温制造工艺可以有效减少热应力对膜产生的变形影响，加上两侧对称的非晶硅薄膜构造，电池基底的热损伤大大降低，有利于实现晶片的轻薄化和高效化。高稳定性 HIT太阳电池Voc越高

、最大规模应用PERC技术的企业，早在2012年就获得了PERC电池发明专利的授权，2013年自主研发的工业化PERC电池平均转换效率在全球首次超过20%，2014年实现PERC电池和组件的大规模
量产。目前，晶澳单晶PERC电池量产效率提升至21.2%，60型单晶PERC量产组件的平均功率达到300W，最高功率创世界纪录达326.67W。 2)天合光能天合光能曾是单晶PERC和多晶PERC

，量产效率也不断攀升，这足以证明PERC技术拥有强大的生命力和广阔的应用前景。 PERC电池只需在传统电池工艺基础上增加Al2O3/SiNx背镀膜和激光开膜两步工艺，与其它高效电池及技术相比，PERC
PERC电池良品率达到97%以上，已经接近常规电池。据记者了解，制造装备在PERC电池技术的发展过程中扮演着至关重要角色，目前，自动化成为PERC新增产线的标配，PERC关键设备背钝化技术路线明晰

优化的重中之重。从早期的仅有背电场钝化，到正面氮化硅钝化，再到背面引入诸如氧化硅、氧化铝、氮化硅等介质层的钝化局部开孔接触的PERC设计。PERC概念的核心就在于为常规光伏电池增加全覆盖的背面钝化膜
，从而降低少数载流子浓度。背钝化材料在钝化膜材料的选择上。氧化铝(Al2O3)由于具备较高的电荷密度，可以对P型表面提供良好的钝化，目前被广泛应用于PERC电池量产的背面钝化材料。除氧化铝外

足以证明PERC技术拥有强大的生命力和广阔的应用前景。 PERC电池只需在传统电池工艺基础上增加Al2O3/SiNx背镀膜和激光开膜两步工艺，与其它高效电池及技术相比，PERC电池技术难度较小，设备
，已经接近常规电池。据记者了解，制造装备在PERC电池技术的发展过程中扮演着至关重要角色，目前，自动化成为PERC新增产线的标配，PERC关键设备背钝化技术路线明晰，量产设备及工艺均逐渐

Ag 元素，而焊带完好部分未发现，表明焊带金属的腐蚀与电极上的银有关。对结构为KPK 3 层结构的背板( 双面为含氟材料，中间为PET层) 进行老化分析，如图11 所示。图中，湿热试验组件背板内层
氟膜与EVA 紧连在一起，与背板其他两层完全脱离，这可能与EVA和背板中水汽含量有关;湿冻试验组件则是3 层均分离，且中间PET 层脆化相当严重( 图12)，表明湿冻试验对背板材料的考验非常大

了杂质引入的原因以及解决途径，从而显著减小了黑斑片产生的几率。 0 引言晶硅电池组件广泛应用于光伏发电行业并形成相当大的产业规模，提高电池转换效率、减少电池的不合格率、优化生产工艺技术是降低
电致发光原理对组件进行缺陷检测。EL测试的图像亮度与电池片的少子寿命(或少子扩散长度)、电流密度成正比，太阳电池中有缺陷的地方，少子扩散长度较低，从而显示出来的图像亮度较暗。电池制造过程，一般包括制绒、扩散

，开路电压也将因为短路电流密度的增大和二极管背电极复合电流减小而有所提高。通过在背部使用氧化物钝化层和局部扩散电极，结合在前表面采用倒金字塔结构和减反射膜，赵先生和他的合作者在1998年报告了在使用P型
受益于氧化铝钝化硅表面技术的革新，最近钝化发射极和背表面电池(PERC: Passivated Emitter and Rear Cell)概念在硅光伏工业领域显示出了复苏迹象，并推动了P型太阳能

，中来N型双面TOPCon电池背面采用多晶硅隧穿电极接触结构，正反两面均由覆盖SiNx减反膜，金属化由丝网印刷完成，由于两面栅线结构都是常规的H型，因此TOPCon电池不仅正面可以吸收光，其背表面也能从
激光掺杂等，简化了IBC电池背表面p+/n+界面处gap的制备工艺流程，开发出行业内领先的低成本;其次，离子注入的最大优点是可以精确地控制掺杂浓度，从而避免了炉管扩散中存在的扩散死层，通过掩膜可以形成

由二次清洗造成的。二次清洗后背面产生杂质，在背面沉积一层Al2O3 之后存在不均匀现象，导致背膜产生缺陷。为消除这个缺陷，通常采用退火的方法，即在温度500～550 ℃、时间10～20
内容摘要介绍了一种通过调整背钝化工艺改善多晶硅背钝化电池缺陷的方法。采用背钝化新型电池片工艺，在正常生产过程中EL会呈现有规律的区域发暗，严重影响电池片性能。本文通过优化PECVD工艺时间和退火

浆料发展的方向，为未来光伏技术的发展及正银浆料国产化提供了一定的思路 01不同硅基太阳电池技术晶体硅太阳电池主要由经过不同工艺处理的硅基片、正面电极、铝背场及背面电极等组成。图1～图5 分别为不同
太阳电池，结构如图2 所示。PERC 太阳电池与常规太阳电池的主要区别在于：1)PERC 太阳电池在背表面有钝化介质层( 多为Al2O3) 和保护层( 多为SiNx);2) 常规太阳电池铝背场与硅片

了杂质引入的原因以及解决途径，从而显著减小了黑斑片产生的几率。晶硅电池组件广泛应用于光伏发电行业并形成相当大的产业规模，提高电池转换效率、减少电池的不合格率、优化生产工艺技术是降低发电成本的主要途径
。目前，国内外对于电池的隐裂、断栅、裂片等失效分析进行过深入的研究，然而对于黑斑片却鲜有报道。在p型晶硅电池的大规模生产中，电池的检验常用电致发光(EL)检测仪，根据硅材料的电致发光原理对组件进行