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出随机的纳米级金字塔，转化效率高达17.5%。采用反应离子刻蚀和等离子体浸没离子注入方法也可以制作黑硅。Kumaravelu等人发现离子刻蚀会在纳米结构上产生缺陷且纳米结构会增加硅片的表面积，这些都会
。C2到C6硅片表面纳米小山峰的密度和高度都不一样。C1是酸制绒硅，表面没有纳米级结构。C6是原始的黑硅，没有做缺陷消除处理，表面小山峰的密度和高度都比较大。纳米结构是刻蚀离子、掩膜相互竞争形成的。可以

两倍。热光伏电池产生电流不需要阳光直接照射，而是从周围环境中收集红外辐射形式的热。它们能回收利用发动机辐射的热，或与燃烧机结合按需发电。新型超材料有着纳米级的微结构，由黄金和氟化镁组成，能向特定方向发出
制造这类材料的加州大学伯克利分校合作，利用前沿技术造出了这种材料，构成材料的基本单位还不到人头发截面的12000分之一。研究人员说，如果发射器和接收器的间距能达到纳米级，用这种超材料为基础造出的热

片两种型号，其最大输出功率分别高达280瓦和330瓦，是迄今为止业内最具美观性与高功率的全黑多晶组件之一。Eagle Black组件采用纳米级黑硅制绒技术，在原有的电池微米结构上形成纳米结构，形成
纳米级绒面，反降低了电池的反射率，提高太阳光的利用率，而提升电池效率以及组件功率。同时，改善了的电池表面形态，有效提升电池片在整个波段的光谱响应，让黑硅对光的反射角度的依赖性也大大降低。有助于掠射入

。据了解，英利光能净化组件率先采用全球先进的光触媒净化技术，利用世界上最新一代纳米级二氧化钛活性材料做光触媒喷涂，所生产的光伏组件不仅可以用于发电，还能改善空气质量。经过光能净化处理技术，光伏组件表面形成

影响黑硅表面的光学特性，然后在黑硅发射极表面原子层沉积Al2O3，起到优异的表面钝化效果。　　1.引言黑硅表面有纳米级小山峰，反射率很低。通过优化反应离子刻蚀（RIE）工艺的参数来制作黑硅，由于其在很宽
了黑硅表面随机纳米级小山峰的平均高度和宽度为1ｕm和200nm。在890℃、910℃、930℃三个条件下BBr3扩散形成硼发射极。黑硅表面等离子辅助原子层沉积（PA-ALD）10nm厚的Al2O3