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为您找到 “管式PECVD流量对太阳能电池氮化硅膜影响的工艺研究”相关结果3 个
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综合
深度报告 | 太阳能电池、组件技术升级百花齐放 光伏设备需求景气延续
来源：索比光伏
发布时间：2020-05-08 10:46:17
正面扩硼主要采用液态三溴化硼
管
式
扩散方式，相比其他扩硼方式更有利于避免金属污染， 背面磷背场可通过热扩散和离子注入的方式形成，热扩散
工艺
由于涉及二次扩散，需要额外的掩模
工艺
和清洗
工艺
以及特殊的边缘隔离
太阳能电池
管
式
PECVD
流量
对
太阳能电池
氮化硅
膜
影响
的
工艺
研究
来源：索比光伏
发布时间：2012-04-19 13:51:19
，因为其数值对于
膜
的
折射率、消光系数、致密性都有直接
的
影响
，本文的目的就是
研究
工艺
气体
流量
对
膜
性能
的
影响
。
管
式
PECVD
流量
对
太阳能电池
氮化硅
膜
影响
的
工艺
研究
管式PECVD 流量对太阳电池氮化硅膜影响的工艺研究
来源：索比光伏
发布时间：2011-12-09 00:00:00
2实验方法 本文针对的是
管
式
PECVD
设备
的
流量
实验，在石墨舟的前后依次沿轴线放置7片抛光片，通过测量膜厚来鉴定
膜
的
生长速度，通过不同
的
流量
来分析
流量
对成膜性能
的
影响
，
对
膜
性能测试是在固定其它参数的情况获得的
管式PECVD
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