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涂(动力来源:通过电斥力)。4)喷墨打印法喷墨打印法是通过控制打印腔内压力的变化将前驱体墨水从打印头喷出并打印到预沉积基底上的一种薄膜沉积方法。该方法也是一种非接触式的薄膜沉积技术，喷嘴与基底之间没有
)，高电压下氩气辉光放电，电离的氩离子在电场力作用下加速轰击放置在阴极的靶材，被溅射出的靶材分子沉积在基片表面形成薄膜。3)离子镀膜：真空条件下，通过等离子体电离技术离化镀料靶材，靶材分子部分电离

、生物刺激素、昆虫信息素、天敌昆虫、微生物除草剂80.废气、废液、废渣综合利用和处理、处置81.有机高分子材料生产：飞机蒙皮涂料、稀土硫化铈红色染料、无铅化电子封装材料、彩色等离子体显示屏专用系列光刻浆料
、制造、建设和运营（含锂离子电池、液流电池、压缩空气、飞轮、氢储能等各类储能技术）417.电力源网荷储一体化和多能互补电源建设五、交通运输、仓储和邮政业418.铁路干线路网及铁路专用线的建设、经营419.

形成一个放电回路，在腔室中的工艺气体在两个极板之间的交流电长的作用下在空间形成等离子体，分解SiH4中的Si和H，以及NH3中的N形成SiNx沉积到硅表面。优势：技术最成熟，易实现大面积均匀性，材料缺陷
)、应用材料等。国内厂商包括：迈为股份、金辰股份、捷佳伟创、理想能源、钧石能源等。板式PECVD：将多片硅片放置在一个石墨或碳纤维支架上，放入一个金属的沉积腔室中，腔室中有平板型的电极，与样品支架

12月29日，上海理想万里晖薄膜设备有限公司在上海临港新片区的研发实验中心隆重举办了理想万里晖临港研发实验中心落成启用暨第100台等离子体反应腔出厂启运仪式。当天，上海市和临港新片区的领导、客户

步工艺流程，但设备投资过高 ◼ 电池生产所需材料昂贵主流工艺流程整线设备：(1)制绒清洗设备(2)板式等离子体增强化学气相沉积设备(3)反应式等离子体镀膜设备(4
)丝网印刷设备捷佳伟创异质结电池全工序装备总结制绒设备，在洁净度、能耗、智能制造等方面全面提升 PECVD反应腔无托盘设计，没有交叉污染问题进而提高Voc RPD比SPT效率高

复合对，光致衰减较P型硅片大幅改善【2】，且其少子为带正点的空穴，一些常见的金属离子例如Fe+，Cu+，Ni+对其体寿命的影响较小，N型硅片的少子寿命往往高于P型硅片。另外，N型电池组件还具有弱光响应好
引入变频隔膜真空泵，在工艺过程中，随着工艺气量的变化，腔室始终稳定在一定的低压条件，在石英管内形成了稳定的气流方向。BBr3进入反应腔室后，在850-900℃条件下，与氧气反应生产的液态B2O3在