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，从运行结果看，氯硅烷、氢气、氯化氢气体利用率分别达到98.5%、99%、99%以上，使多晶硅生产过程中纯氢消耗从传统西门子工艺的近35立方米/千克降至1立方米/千克以下，且系统能够适应多晶硅生产能力的
国内先进水平的10倍，提纯后三氯氢硅指标优于国内先进水平2倍以上，且能够满足电子级多晶硅纯度要求；发明大型高效、加压、高温三氯氢硅提纯工艺，减少蒸汽消耗和塔顶循环水消耗，降低能耗45%；创新研制大型三氯氢硅

作用于存储在硅片上的氮化硅。可以根据改变硅烷对氨气的比率，来得到不同的折射指数。在沉积工艺中，伴有大量的氢原子和氢离子的产生，使得晶片的氢钝化性十分良好。在真空、480摄氏度的环境温度下，通过对石墨舟的
索比光伏网讯:PECVD( Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)等离子增强化学气相沉积，等离子体是物质分子热运动加剧，相互间的碰撞会导致气体分子

。1998年10月1日，瓦克正式收购该工厂并在此生产硅烷、硅氧烷、硅油、有机硅乳液、消泡剂、硅橡胶、气相二氧化硅等以硅为原料的化工产品。前不久，该生产基地也开始生产太阳能行业用超纯多晶硅。此外，该生产基地
美国基地爆炸，中国企业受益瓦克化学的这份对外声明称，事故发生期间有少量氯硅烷发生泄漏，但被生产基地的消防人员立即用水浇灭。由此产生的水蒸汽中残留有氯化氢。此外，一条水蒸汽管道受损也产生了额外的

。 1985年，建立了浙江大学首个国家重点实验室—高纯硅及硅烷国家重点实验室(现硅材料国家重点实验室的前身)。1989年，半导体材料被批准为国家重点学科。1999年，材料科学与工程被批准为一级学科
科学学院。1999年学院开始实体化运作。经过十余年的建设，学院所属六个一级学科(计算机科学与技术、软件工程、控制科学与工程、光学工程、电子科学与技术、信息与通信系统)不断发展壮大，于2013年7月新组建

电子级多晶硅；业务范围囊括油气、智慧能源、金融、地产以及LED光电产业等；员工数目扩大到3万人。下一页余下全文但这一次转型
天然气等，总额近1000亿元，拥有员工20000多人,旗下拥有保利协鑫能源、协鑫新能源、协鑫集成三家光伏上市企业。其中仅保利协鑫一家在2014年的收益就达到了37亿港币。这一次战略转型无疑是一次巨大的成功

粗放式的生产管理，生产的多晶硅纯度相对都不太高，甚至达到国标电子级水平者都甚少。3月底，多晶硅龙头企业保利协鑫公布了2014年财报。公告显示，其2014年营业额创纪录地达到372.25亿港元，多晶硅和
生产企业仍需进一步精细化管理，提高产品质量，同时研发新的生产设备和工艺技术，比如硅烷流化床法，气液沉积法等。

法工艺技术和核心设备上，已经做了大量改进，取得了很大进步，但是由于国内生产管理处于相对较低的水平，处于粗放式的生产管理，生产的多晶硅纯度相对都不太高，甚至达到国标电子级水平者都甚少。 3月底
1.826亿美元，远优于2013年的7090万美元净损成绩。改良西门子法在国际上已是一种成熟的技术，目前尚无突破性进展，因此我国多晶硅生产企业仍需进一步精细化管理，提高产品质量，同时研发新的生产设备和工艺技术，比如硅烷流化床法，气液沉积法等。