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金属接触，有效降低背表面的电子复合速度，同时提升了背表面的光反射。 PERC电池实验室制备采用了光刻、蒸镀、热氧钝化、电镀等技术，而产业化PERC工艺采用了PECVD(或ALD)法钝化、激光开孔
，单晶PERC的光衰主要与电池中B-O对有关，此类衰减可通过降低硅片中氧含量、掺Ga、光照+退火等工艺消除。图二单晶PERC电池的LID衰减和恢复机理图三国产PERC电池的光照恢复

制作流程一般为：制绒- 扩散-刻蚀-ALD- 正面PECVD- 背面PECVD- 激光开槽- 丝网印刷。随着PERC 电池的量产，在EL测试中，EL 测试仪总能测出正面发暗的电池片，如图2 所示
( 制绒- 扩散-刻蚀- 正面PECVD- 丝网印刷) 制作，另外100片按照前文所述的PERC 电池流程制作;同时，保证在电池片制作过程中都选用同种设备进行，以减小误差。制作结果如表1 所示，PERC

硅片、控制硅片内的氧含量;其二是对电池片通过在一定温度下进行光、电注入，使B-O对中性化不会吸附产生的少数载流子，从而减少光衰，设备厂家有Centrotherm、科隆威、Schmid、时创等。随着
5. PECVD和ALD不同模式TMA的耗量(数据来源Taiyang News 2017) PERC电池制作另一关键工序是激光开窗，通过激光热熔方法把背面需要形成铝硅合金接触的区域上面的氧化铝和

中试线上小批量平均效率达到20.9%，最高效率达到21.4%。帝人结合丝网印刷及激光掺杂技术同步实现局部开孔并形成B掺杂层，可以实现效率提升0.2-0.3%。技术3
化现状技术2：PERC+SE技术在PERC技术上，进一步采用选择性发射极和局部B掺杂。目前Solarworld公司采用选择性发射极结构产线效率达到21.4%，Trina 也采用此技术在

高功率组件的需求量也日益增加，降低组件封装损失、提高组件输出功率已成为国内外组件厂商研究的趋势。其中半片技术是一种通过减小电池片尺寸，降低串阻损耗来提高组件功率的技术。通过将标准规格电池片激光切割为尺寸相等的
，宽度为1.0mm)。光伏组件功率测试设备为Pasan太阳能模拟器;检验组件内部电池片隐裂设备为德国Ophelms公司的OPT200A型EL测试仪。基于不同串并联结构，相同材料匹配分别制作72片

的手续。下一个寒暑假，这些光伏电力的生产能力将不再闲置。据介绍，暑假里学校光伏设施收集的电力没处消耗，如果不能将电送入城市电力的大网，就只能把设备关停。61所学校总计5兆瓦的装机容量，要是关停一暑假
经济开发区内的国家数字电视产业园5兆瓦、奔驰汽车3兆瓦、首农集团3兆瓦等厂房光伏屋顶项目顺利，大族激光、奔驰汽车二期等光伏项目已完工，目前全区厂房屋顶光伏装机总容量已达23兆瓦。　　八一中学、北京一中、人大

认为使用低温浆料，采用吸杂、高温退火及激光快速退火等手段可以抑制衰减。导致衰减的因素仍在研究中，除常规B-O对原因外，还有仍在研究中的未知因素，可能与多晶硅中更高的金属杂质含量有关。总体来说，单晶
技术竞争力吸引了整个产业界的关注，产业化设备、关键材料都在加速开发中。通过少量技术改变，在基本不增加成本的基础上，PERC电池可实现双面发电。双面PERC成为行业新热点，其优势包括：可双面发电、双玻

）、东旭光电（000413）、汉能（00566）、保利协鑫（03800）、大族激光（002008）、易事特（300376）、福斯特（603806）、华为、隆基（601012）。新能源企业在该排行榜的占比率达到
，日芯光伏向神光新能源供应50MW高倍聚光光伏发电设备。当时三安光电还宣布获得了Emcore公司的订单，向其供应5435个第三代1000倍聚光组件和81525个接收器，总金额达561.65万美元。2014

都用银，银的成本比较高。来用还有扩散气体，B，Br。这几个问题不是不可解决，硅片工艺都可以优化，来把它增加部分，降到一个合理的水平。另外由于高的发电量，我们可以通过发电量的增益，来弥补客观成本的增加
。说到双面电池，现在非常热，今天我们在展会上，双面电池炒的非常热。N-PERT可以做双面，实际上就是说，从工艺步骤来说，两个差不多，P型，N-PERC是在普通的电池香上增加了激光滑槽，增加了它衰减的处理

硅片各20 片在Maia 2.1 设备中进行背钝化膜沉积，管式PECVD 沉积正面氮化硅减反膜，最后通过激光消融和丝印烧结制备成PERC 电池。采用D8-4 型反射率测试仪测试刻蚀后的硅片背面反射率
内反射。平整的表面使得钝化膜沉积更加均匀，对于业内常用的梅耶博格公司的Maia 系列PECVD 设备，可降低沉积时间，节省三甲基铝耗量。目前，背面抛光技术路线有两种：1) 增加酸刻蚀清洗工序的刻蚀量

验室研究的PERC电池创造了转换效率25%的世界纪录，由此获得了世界范围内的广泛关注。经过二十多年的发展，随着沉积AlOx产业化制备技术和设备的成熟，加上激光技术的引入，PERC技术开始逐步走向
开发新激光方案来进一步改善处理效果。目前,PERC电池已然成为了众多晶硅电池厂家的新宠，技术成熟度越来越高，同时关键设备的国产化进程也逐步加快。PERC电池的成本稳步下降，进步令人欣喜，当然问题

的背面的钝化的AlOx介质膜的钝化作用引起大家重视，使得PERC电池的产业化成为可能。随后随着沉积AlOx产业化制备技术和设备的成熟，加上激光技术的引入，PERC技术开始逐步走向产业化。2013年前
，包括新一代PERC正面银浆PV20X、PV56x系列背面银浆、PV36x系列背面铝浆等，可满足PERC电池低温烧结的需要。武汉帝尔公司积极开发激光在PERC电池中的应用设备，包括激光消融、激光

新型晶体硅太阳电池 1常规设备的改进 2常规BSF电池的关键技术：黑硅技术表3：金刚线切割多晶硅片的常规织绒技术还未解决单晶硅电池与多晶硅电池的差距在缩小
Al-B-BSF掺硼铝背场 base1ms_1ms P型硅片 4BB4主栅 Multi wire多主栅 finger10m_10m栅线空心材料的改进实心结构的改进资料来源：B

编者按：是指：从事太阳光热、光电设备和建筑的安装、建造、调试、维修及管理的人员。从事的工作主要包括：（1）安装调试太阳热水器、太阳热水工程、太阳灶、太阳干燥装置及配套设施等。45亿年前，太阳能
太阳能装置烧饭。1839年，法国科学家Edmund Becquerel 观察到了太阳能的ink"光伏效应。1861年，法国科学家Augustin Mouchot 取得了太阳能设备的专利权。1870年

就用这种简易的太阳能装置烧饭。1839年，法国科学家Edmund Becquerel 观察到了太阳能的ink"光伏效应。1861年，法国科学家Augustin Mouchot 取得了太阳能设备的专利权
设备，造价较高。?(2)不稳定性：由于受到昼夜、季节、地理纬度和海拔高度等自然条件的限制以及晴、阴、云、雨等随机因素的影响，所以，到达某一地面的太阳辐照度既是间断的又是极不稳定的，这给太阳能的大规模

提高。PERC电池技术拥有广泛的应用前景。相比一般电池技术，PERC电池增加了两道额外的工序：背面钝化层的沉积和激光开槽。因为需增加两套设备的投资，按目前的生产情况传递到组件端单瓦成本略高，但随着
0.3%～0.4%的效率提升。随着领跑者计划的推出，中国光伏行业制造水平、应用水平、标准及测试等方面均整体大幅提升，在组件产品转换效率提升方面促进作用更是明显。目前，我国光伏设备行业已经全面进入拼质量