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的效率已稳定在10%左右,制作成本仅为硅太阳能电池的1/5～1/10,寿命能达到20年以上,具有广泛的应用价值.2DSSC电池的结构和基本原理DSSC是由透明导电玻璃、TiO2多孔纳米膜、敏化染料
TiO2,包括气相火焰法、液相水解法、TiCl4气相氧化法、水热合成法、溶胶凝胶法等.将得到的TiO2微粒沉积到导电玻璃表面制备TiO2薄膜电极.染料敏化纳米太阳能电池所用的纳米膜包括致密的TiO2

目前的太阳电池工艺中，通常采用已经掺杂了一定量的硼的Ｐ型硅片作为原料，在硅片的一面通过扩散磷来形成Ｐ－Ｎ结，采用三氯氧磷（ＰＯＣｌ３）作为扩散源提供磷原子。常用的扩散方法为石英管中进行的闭管液态源
下列反应：通过上一个反应，在硅片表面形成了磷硅玻璃Ｐ２Ｏ５，接着用硅取代磷从而将磷释放出来。接下来磷扩散进入硅中，同时Ｃｌ２被排出。在扩磷的工艺过程中，其实是先通过液态源（ＰＯＣｌ３）反应生成待扩散的磷

第六届国际太阳能产业及光伏工程（上海）展览会暨论坛 (展位：E3馆，310)，推出了其最新的晶体硅太阳能电池湿制程设备：IPSG CEI 4800。该设备主要用于去除晶片背部及边缘的高掺杂层，进而产生
化学边缘隔离（CEI），还能去除之前扩散过程中在晶片正面生成的磷硅玻璃（PSG）。得益于新的湿制程设备，我们实际上将Manz之前已经建成的光伏制程工艺加工链更加紧密地连接了起来。将更多的加工步骤整合

。非晶硅的原料是晶硅太阳能电池生产中西门子法生产多晶硅之前的硅烷气体，通过在硅烷（SiH4）中掺杂乙硼烷（B2H6）和磷化氢（PH3）等气体，在低成本基板上（玻璃、不锈钢）低温成膜，避开了成本最高和技术
难度最大的西门子法工艺，直接将硅烷气体进行玻璃镀膜，然后制作电极和封装。太阳能电池组件的成本在整个光伏系统成本中占有很高的比例，组件价格直接影响系统成本，进而影响光伏发电的成本。按目前的组件售价计算

4800。该设备主要用于去除晶片背部及边缘的高掺杂层，进而产生化学边缘隔离（CEI），还能去除之前扩散过程中在晶片正面生成的磷硅玻璃（PSG）。Manz创始人兼首席执行官Dieter Manz先生说
。敬请关注。　　图1. Manz在SNEC 2012展示其最新的晶体硅太阳能电池湿制程设备：IPSG CEI 4800　　图2.该设备能去除之前扩散过程中在晶片正面生成的磷硅玻璃（PSG）　　图3.该

晶体硅太阳能电池湿制程设备：IPSG CEI 4800。该设备主要用于去除晶片背部及边缘的高掺杂层，进而产生化学边缘隔离（CEI），还能去除之前扩散过程中在晶片正面生成的磷硅玻璃（PSG）。Manz
图2.该设备能去除之前扩散过程中在晶片正面生成的磷硅玻璃（PSG）图3.该设备主要用于去除晶片背部及边缘的高掺杂层，进而产生化学边缘隔离（CEI）

，并且能在高温下工作。一般用石英玻璃管加热器。此种设备用气流把快速加热箱分成4独立的加热系统，以保证每个腔室温度的独立性，可形成一个一个的温度阶梯，从而使最后一个温区的温度在很短时间达到一个很高的温度
FF的变化。2、铝浆烧结的目的使浆料中的有机溶剂完全挥发，并形成完好的铝硅合金和铝层。局部的受热不均和散热不均可能会导致起包，严重的会起铝珠。3、背面场经烧结后形成的铝硅合金，铝在硅中是作为P型掺杂

阻的印刷烧结。三、高方阻实现方法1、低温淀积+高浓度淀积在较低温度下淀积一个低浓度的薄扩散层，接着在较高温度下加大源流量，在短时间内进行高浓度扩散。由于时间很短故只在表面堆积一层高掺杂浓度的磷硅玻璃层
掺杂浓度的提高，开路电压Voc随之提高。二、高方阻的缺点串联电阻Rs=电极电阻+体电阻+薄层电阻+接触电阻。高方阻使得表面薄层电阻明显增加，增大了Rs，降低了FF。电流横向电阻：功率损耗：dP

材料成本；2.吸收系数大、光谱响应宽；3.低温（~200C）工艺制备，耗能小；4.单片集成面积大，美观大方；5.弱光响应好，阴天可发电；6.使用寿命长，硅材料本身无毒、无污染；7.衬底既可以是玻璃等
能量损失影响硅基薄膜太阳电池性能的因素1.捕光结构：迎光面减反射结构、背光面增强反射结构、中间选择性增反射结构2.光伏材料层：光吸收层（i层）、掺杂层（p、n层）3.电池结构（p-i-n）：材料层的淀积

占主导地位的晶硅太阳能电池生产中，激光器一直被用于切割硅片和边缘绝缘。电池边缘的掺杂是为了防止前电极和背电极的短路。在这一应用上，激光已胜过其它传统的工艺。等离子刻蚀未能满足自动化要求，破损率很高。经验证的
工艺：晶硅电池的选择性掺杂激光器越来越多地用于掺杂工艺，因为它能在太阳能电池上提高局部掺杂浓度得分布从而改善载流子的移动性，特别是接触栅极。至少六个不同的工艺在市场上互相竞争，几乎所有的工艺都是基于激光

材料（例如掺杂纳米晶体氧化硅nc-SiOx，和高结晶度纳米晶体硅nc-Si材料）、顶层电池材料、纳米压印材料、以及透明导电氧化层。　　多节太阳能电池的制造还仰赖于合适的设计及设备。其中的难点包括
Plasmatechnik 　　欧洲平板玻璃制造商Euroglas 　　荷兰绒面膜生产商Solarexcel 　　德国设备制造商Singulus Stangl Solar

(例如掺杂纳米晶体氧化硅nc-SiOx，和高结晶度纳米晶体硅nc-Si材料)、顶层电池材料、纳米压印材料、以及透明导电氧化层。多节太阳能电池的制造还仰赖于合适的设计及设备。其中的难点包括：粗糙表面上的
(TechnischeUniversiteitDelft)德国公司Malibu博世太阳能(BoschSolar)德国公司FAPForschungsundApplikationslaborPlasmatechnik欧洲平板玻璃

，多晶硅，非晶硅，砷化镓，硒铟铜等。它们的发电原理基本相同，现以晶体为例描述光发电过程。P型晶体硅经过掺杂磷可得N型硅，形成P-N结。当光线照射太阳能电池表面时，一部分光子被硅材料吸收;光子的能量传递给了硅
。太阳电池与建筑系统的结合已经形成产业化趋势。太阳能光伏玻璃幕墙元件得应用越来越多，随着上海和北京的几个项目进入实质性运转，这种方式将会代替普通玻璃幕墙，它具有反射光强度小、保温性能好等特点!太阳能电池

籽晶，然后拉伸为圆柱晶棒，再被切割成片，加工成为单晶硅硅片。硅片通过刻蚀、掺杂、涂层以及敷设电触头等工艺制成太阳能电池。太阳能电池然后进行互联形成太阳能电池组件。组件和其它系统部件分销给安装商或直接分销
太阳电池正逐渐从各种类型的太阳电池中脱颖而出，在全球范围内掀起了一股投资热潮。大尺寸玻璃基板薄膜太阳电池投入市场，将极大地加速光伏建筑一体化、屋顶并网发电系统以及光伏电站等的推广和普及。同时，非晶硅薄膜

太阳能电池板。博览会当天，3M公司在弯曲的普通玻璃表面进行了展示。据悉，这种窗户太阳能薄膜计划明年面市。新型面板不仅可以在阳光下发电，而且还能作为隔热层，为家庭住宅提供防护。　　这种薄膜主要采用一种有机光伏
，论文称该技术可被用于开发透明的太阳能电池板，甚至还可以用这种材料制成可以发电的窗户。这种材料由掺杂碳富勒烯的半导体聚合物组成。在严格控制的条件下，该材料可通过组装方式由一个微米尺度的六边形结构展开为

板。博览会当天，3M公司在弯曲的普通玻璃表面进行了展示。据悉，这种窗户太阳能薄膜计划明年面市。新型面板不仅可以在阳光下发电，而且还能作为隔热层，为家庭住宅提供防护。这种薄膜主要采用一种有机光伏材料，其发电
太阳能电池板，甚至还可以用这种材料制成可以发电的窗户。这种材料由掺杂碳富勒烯的半导体聚合物组成。在严格控制的条件下，该材料可通过组装方式由一个微米尺度的六边形结构展开为一个数毫米大小布满微蜂窝结构的

当天，3M公司在弯曲的普通玻璃表面进行了展示。据悉，这种窗户太阳能薄膜计划明年面市。新型面板不仅可以在阳光下发电，而且还能作为隔热层，为家庭住宅提供防护。这种薄膜主要采用一种有机光伏材料，其发电性和隔热性能均
板，甚至还可以用这种材料制成可以发电的窗户。这种材料由掺杂碳富勒烯的半导体聚合物组成。在严格控制的条件下，该材料可通过组装方式由一个微米尺度的六边形结构展开为一个数毫米大小布满微蜂窝结构的平面。负责该

当天，3M公司在弯曲的普通玻璃表面进行了展示。据悉，这种窗户太阳能薄膜计划明年面市。新型面板不仅可以在阳光下发电，而且还能作为隔热层，为家庭住宅提供防护。　　这种薄膜主要采用一种有机光伏材料，其
，论文称该技术可被用于开发透明的太阳能电池板，甚至还可以用这种材料制成可以发电的窗户。这种材料由掺杂碳富勒烯的半导体聚合物组成。在严格控制的条件下，该材料可通过组装方式由一个微米尺度的六边形结构展开为