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流化床法主要工艺与改良西门子方法工艺有许多相似之处，主要包括三氯氢硅冷氢化、精馏、硅烷歧化精馏、流化床、后道处理。
这个技术难点主要是流化床反应器的温度、床层、硅烷流量、颗粒粒径控制的工艺控制，控制工艺相对复杂，国内外开展研究较早，但由于技术难度很大，但很少有公司研发成功，目前国内有协鑫和REC天宏两家掌握该生产技术

REC是硅烷流化床生产工艺的代表，其每年多晶硅产量中，约80%为流化床工艺生产，10%为西门子法生产，还有部分电子级多晶硅产品。
，其中，冷氢化装置三氯氢硅转化率超过20%，精馏装置精馏提纯后的三氯氢硅纯度达到99.9999%，标志着新疆东方希望年产12万吨多晶硅项目(一期3万吨)实现全流程贯通，项目投料试车一次成功，进入全面投产运营阶段

事实上，目前国产多晶硅品质已经完全满足单晶产品的用料要求，其中江苏中能、天宏瑞科的硅烷流化床法颗粒硅已经初步实现量产，其成本低于目前主流的改良西门子法产品。
从材料端的产能布局来看，不难发现，本年度大量国内多晶硅企业都选择在低电价的地区建设新产能，如通威股份就计划在包头、乐山分别建设2.5万吨每年的多晶硅项目，预计今年年底投产;新疆特变年初公告3.6万吨多晶硅扩产项目

2014年11月末，保利协鑫公布，其规划的2.5万公吨硅烷流化床法多晶硅项目首套装置已于2014年9月建成投入试生产，各项运行指标符合设计要求。
由保利协鑫所属江苏中能实施的硅烷流化床新技术项目完成了全球最大规模的万吨级硅烷制备装置，已建成投产的3000公吨/年流化床为目前全球最大的单台流化床反应器装置，单炉产量达到400 千克/小时。

保利协鑫昨日公布规划2.5 万公吨硅烷流化床法多晶硅项目首套装置于2014 年9 月建成投入试生产，各项运行指标符合设计要求。由保利协鑫所属江苏中能实施的硅烷流化床新技术项目完成了全球最大规模的万吨级硅烷制备装置

该装置的投产，标志着保利协鑫硅烷气技术和硅烷流化床法技术取得了阶段性的成果，为公司的科技战略、成本战略及产品战略的实施奠定了坚实的基础。
技术创新降低成本成唯一出路10月3日，保利協鑫能源控股有限公司旗下的多晶硅生产企业江苏中能硅业科技发展有限公司宣布，其多晶硅硅烷气首期装置调试成功，并顺利产出合格的高纯度硅烷气。

该装置的投产，标志着保利协鑫硅烷气技术和硅烷流化床法技术取得了阶段性的成果。
保利协鑫上述中试项目由该集团旗下的江苏中能公司承担。该公司研发总监钟真武介绍，江苏中能在硅烷流化床法的中试运行中，每公斤多晶硅能耗降至25度电以下，一次转化率达98%。

未来，该公司还将着力研发替代“改良西门子法”的新技术“硅烷法”、“流化床法”，在能耗、生产成本及产品质量等方面进一步迈向国际最尖端水平。　　
到2008年6月就已经投入生产，创造了世界多晶硅项目建设史的奇迹；随后，第三期3条生产线共计年产1.5万吨的项目，经过1年的建设也在2009年上半年全面投产。