(反应离子刻蚀法Reactive Ion Etching,RIE)和湿法黑硅技术(金属催化化学腐蚀法metal Catalyzed Chemical Etching,MCCE)等都可以解决金刚线切割的 。2004年,日本京瓷公司引入了干法黑硅RIE多晶制绒技术。在2008年,以韩国公司为代表的设备厂家开始在中国推广干法黑硅RIE技术。湿法黑硅方面,早在2006年,德国的Stutzmann小组即提出
;②气相腐蚀法;③反应离子刻蚀法(Reactive Ion Etching,RIE);④金属催化化学腐蚀法(metal Catalyzed Chemical Etching,MCCE)。目前,具有量产 。 图1业界主流多晶效率趋势2、产业化黑硅电池技术概述早在2004年,日本京瓷公司引入了RIE多晶制绒技术。在2008年,以韩国公司为代表的设备厂家开始在中国推广RIE技术。一些一线电池厂家对该技术也进行
;③反应离子刻蚀法(Reactive Ion Etching,RIE);④金属催化化学腐蚀法(metal Catalyzed Chemical Etching,MCCE)。目前,具有量产可能性的 。
图1:业界主流多晶效率趋势
2、产业化黑硅电池技术概述
早在2004年,日本京瓷公司引入了RIE多晶制绒技术。在2008年,以韩国公司为代表的设备厂家开始在中国推广RIE技术。一些一线
;②气相腐蚀法;③反应离子刻蚀法(Reactive Ion Etching,RIE);④金属催化化学腐蚀法(metal Catalyzed Chemical Etching,MCCE)。目前,具有量产 。 图1 业界主流多晶效率趋势2、产业化黑硅电池技术概述早在2004年,日本京瓷公司引入了RIE多晶制绒技术。在2008年,以韩国公司为代表的设备厂家开始在中国推广RIE技术。一些一线电池厂家对该技术也
(Reactive Ion Etching,RIE);④金属催化化学腐蚀法(metal Catalyzed Chemical Etching,MCCE)。目前,具有量产可能性的黑硅技术主要是RIE。但是 黑硅电池技术概述早在2004年,日本京瓷公司引入了RIE多晶制绒技术。在2008年,以韩国公司为代表的设备厂家开始在中国推广RIE技术。一些一线电池厂家对该技术也进行过小批量评估,由于较高的工艺成本