2004年，德国政府根据可再生能源的发展情况，对《可再生能源法》进行了修订和完善，以适应分布式电源建设的新形势。与EEG一2000固定上网电价补贴相比，提出了太阳能补贴逐年递减的机制：
①在补贴额度方面，对于不同的形式的太阳能发电，给予补贴金额限度为0.457一0.624/kWh；
②在补贴年限方面，补贴时长为20年，但每年递减5%一6.5%；
③在光伏上网电价控制方面，其上网电价下降比率增加为8%一9%。德国政府采用逐年递减的补贴机制，减小对分布式光伏的扶持力度，使其具备初步的竞争力。
2010年，德国分布式光伏的发展已经初步形成规模，结合德国配电网对分布式光伏的接纳能力和电网备用容量的影响，德国政府再次对EEG一2004进行了调整，消减了对光伏发电项目的大部分补贴：
①自2010年7月1日起，德国对屋顶光伏系统和移除耕地农场设施的补贴额将减少13070，对转换地区补贴额将减少807o，其他地区将减少12070；
②光伏项目补贴总额将进一步减少307o；
③增加“自有消费奖励”，鼓励那些拥有小于500kW的屋顶光伏发电系统的自发自用。由此可见，德国一方面进一步促进能源市场公平氛围形成，另一方面通过“自发自用”政策来减少分布式电源的并网，从而降低对电网运行的压力。2007一2011年，不同类型的分布式光伏建设形式上网电价的比较图如图所示。
2012年，为鼓励分布式光伏参与到市场竞争中，对EEG的内容进行了丰富和补充：
①以法律条文的形式明确规定了德国可再生能源电力发展的中长期目标；
②提出针对于不同的装机容量的光伏系统的上网电价下调率灵活调整机制；
③建立信息通报和信息公开制度，并设立了EEG的定期追踪和评估机制，对利益相关方在可再生能源电力并网、收购、传输、配送等环节的权利和义务进行了详细明确的规定。
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