热共蒸镀
₀.₂₄)₃(含5%过量PbX₂)DMF/DMSO(4:1)混合溶剂配制，搅拌过夜旋涂程序：1000 rpm 40秒→3000 rpm 20秒(结束前10秒滴加200 μL乙酸乙酯)100℃退火30分钟后蒸镀
溶液加工中SAM层均匀性。虽然共组装或溶剂工程可改善均匀性(15,
16)，但这些方法会显著增加SAM层制备的复杂度。双自由基结构引入或者自由基掺杂引入稳定开壳层双自由基结构的新型策略展现出独特
，2023 - 2024年上半年热度较高，目前部分企业持观望态度。工艺路线上，钙钛矿单结工艺逐渐趋同，涉及相关设备主要包括涂布机、PVD(磁控溅射类、蒸镀类、RPD)，ALD，激光等;叠层工艺路线具有
小绒面特点，可通过两步法实现保形效果，解决绒面问题蒸镀方式较好，在蒸镀后再镀某些材料效果更佳。目前单结路线发展相对较快，是当前较主流技术方向;叠层效率更高，目前不少企业已在积极布局大面积叠层。█ 江苏
镀膜主流方式。相比于蒸镀、电子枪，磁控溅射(PVD) 具备成膜面积大、膜质均匀、成膜效率高等优势，并且可以通过调整靶材与电池的距
离以及磁场分布，尽量降低离子轰击对钙钛矿材料的伤害。同时优化腔体
。由于钙钛矿中的涂布和真空溅镀的环节，使其 与现有的 OLED 产业有较大的相似之处。以 OLED 不同代的生产线为例，6
代线相 比于 2.5 代线，不经单屏面积有一定提升，年产能也从原有的 3 万
产业1.贵金属新材料（贵金属回收，贵金属合金及复合材料、蒸镀材料等特种功能材料，新一代国六催化剂、丙烷/环己烷脱氢铂催化剂、工业废水处理催化剂等）2.新能源电池材料（磷酸铁锂等正极材料，石墨、氧化亚硅
形成。有序竞争、错位发展、效益最佳、灵活可持续的长效机制基本形成。全面统筹、高效联动、上下协同、协调发展、互利共赢的全省“一盘棋”招商工作新格局全面形成。四、明确重点招商方向（一）优势资源招商依托我省
。在我们的研究中，我们首次证明了热蒸镀工艺在为不同架构定制钙钛矿吸收体方面的多功能性。 电池采用p-i-n布局，依靠共蒸镀的MAPbI 3薄膜。研究人员采用的这种共蒸镀工艺允许生产分级的可定制的
溅射速率控制， 多靶共溅时也就可以控制薄膜的成分，成分比例; 由于溅射比蒸发出的粒子具有更强的动能，制备的薄膜更加致密，其层间附着力是蒸镀 法所得薄膜的数倍;材料的利用率更高，溅射靶材可连续使用较长
授团队对于柔性太阳能电池及柔性透明导电薄膜进行了深入研究，且取得了一系列重要成果。例如：在国际上率先发展了“蒸镀-旋涂”的钙钛矿薄膜低温制备工艺，2016年实现了具备高稳定性a-FAPbI3的钙钛矿
2017年第3批，共抽查了上海、江苏、浙江、安徽、广东等5个省、直辖市27家企业生产的27批次光伏并网逆变器产品。本次抽查依据NB/T32004-2013《光伏发电并网逆变器技术规范》等标准的要求，对光
转化效率2014年12月刷新为21.7%，由德国太阳能和氢能研究机构ZSW采用共蒸镀法制备。大面积电池组件转化效率及产量根据各公司制备工艺不同而有所不同，一般在10%~15%范围内。铜铟镓硒薄膜太阳电池具有
氮化硅钝叠层起到钝化和减反射效果。背面采用上述TOPCon技术，正反金属化采用蒸镀Ti/Pd/Ag叠层实现，电池开路电压达到690.4mV，填充因子也达到81.9%。为了进一步提高效率，其进一步优化正面
ITO，蒸镀Ti/Pd/Ag叠层栅线，背面蒸银作为背面电极。该电池设计开路电压达到692.4mV，填充因子达到79.4%。由于退火温度的不同，这里沉积的非晶硅并未结晶为多晶硅，而是达到了类似薄膜硅电池中的
采用普通金字塔制绒，硼扩散，ALD氧化铝加PECVD氮化硅钝叠层起到钝化和减反射效果。背面采用上述TOPCon技术，正反金属化采用蒸镀Ti/Pd/Ag叠层实现，电池开路电压达到690.4mV，填充因子
掺磷和掺硼的非晶硅，之后退火。正面采用溅镀ITO，蒸镀Ti/Pd/Ag叠层栅线，背面蒸银作为背面电极。该电池设计开路电压达到692.4mV，填充因子达到79.4%。由于退火温度的不同，这里沉积的非晶硅
