XBC电池

近日，微导纳米(688147)在接受调研时表示，公司的PEALD/PECVD二合一设备在TOPCon背面薄膜制备中具有技术优势。公司依靠PEALD技术实现了对隧穿层的精准控制，并保证其均匀性，能够满足隧穿氧化层工艺所需各项苛刻的需求，同时公司已通过调整硅片表面及膜层等方式成功掌握了原位掺杂多晶硅层PECVD量产技术。