VLSI
VLSI Research: 2008年光伏设备销售额超44亿美元来源：Solarbe.com 发布时间：2009-02-21 10:13:42
市场调研机构VLSI Research日前发布报告，2008年光伏电池和组件制造设备市场（包括薄膜电池设备）销售额达到了44亿美元，太阳能产业持续发展并不断增加新的产能。由于各种薄膜技术的兴起并在
2008年第一次进入规模量产，设备市场获得了迅速成长，促使设备供应商也创造了新的收入记录。
然而，VLSI Research的欧洲总经理John West警告说，光伏设备市场的成长在2009年将会减缓
VLSI:08年全球十大太阳能电池设备制造商来源： 发布时间：2009-02-04 10:46:59
VLSI调研公司日前公布了2008年全球十大太阳能电池设备制造商。其中，Applied Materials以4.55亿美元的收入位居榜首，其获得国际认可的“Sunfab”模块功不可没。德国
Roth & Rau、Centrotherm则分列二、三位，而日本公司Ulvac以1000万美元之差位于Oerlikon之后。 VLSI分析师Andrew Thomas指出，薄膜生产线的
磁场中直拉硅单晶的生长(四)来源：峨眉半导体 发布时间：2007-06-12 22:57:18
六、应用
随着器件制造工艺从LSI发展到VLSI,半导体工业对硅材料的要求变得越”来越严格。目前，器件尺寸已大大减小。最小特征尺寸从1960年的15微米缩小到1980年的2微米
。 M C Z硅单晶中，由于含氧量得到控制，因而形成氧化物沉淀的几率减小，堆垛层错和片子翘曲变形等也相应变小。在制造LSI和VLSI工艺中，这种高质量的单晶比常规CZ单晶更胜‘筹。这一点已在素尼公司
磁场中直拉硅单晶的生长(三)来源：峨眉半导体 发布时间：2007-06-12 22:56:12
提高； 7.氧分布均匀，满足了LSI和VLSI的要求。 A.C.Bonora采用MCZ设备，从10公斤的装料中，成功地生长了无缺陷的100毫米直径的晶体。图5把得自常规CZ法和磁场
