TCO

TCO导电薄膜的成套设备；广东凯盛光伏技术研究院有限公司由中国建材蚌埠玻璃工业设计研究院设立,总投资2.5亿元,成立5个专业试验室和CIGS薄膜生产线,全面开发研究薄膜太阳能电池工艺技术、关键材料及装备

生产，具有吞吐量高、性能卓越、拥有成本低，并且具有紧凑的外形尺寸等特点。通过其灵活的结构设计可实现溅射，反应溅射和热蒸发镀膜，是Mo（钼），TCO（透明导电氧化物）和CIGS等太阳能薄膜制备的理想工具
优化工艺条件，可极大提高原料的利用率和降低镀层厚度的不均匀性（NU）。Veeco目前针对薄膜太阳能电池的大规模生产向客户提供钼、CIGS及TCO沉积层的集成制造解决方案。经生产验证的CIGS热沉积源

Lowell生产，具有吞吐量高、性能卓越、拥有成本低，并且具有紧凑的外形尺寸等特点。通过其灵活的结构设计可实现溅射，反应溅射和热蒸发镀膜，是Mo（钼），TCO（透明导电氧化物）和CIGS等太阳能薄膜制备
的沉积系统并优化工艺条件，可极大提高原料的利用率和降低镀层厚度的不均匀性（NU）。 Veeco目前针对薄膜太阳能电池的大规模生产向客户提供钼、CIGS及TCO沉积层的集成制造解决方案。经生产验证的

目前商业化生产的薄膜硅太阳能电池主要分为非晶硅(a-Si)薄膜和非晶/微晶硅 (a-Si / μc-Si) 叠层薄膜。其生产工艺首先是在玻璃基板上制造透明导电氧化物(TCO)，然后再通过PE C V
D方法沉积p型、i型和n型薄膜，最后用溅射做背电极。目前工业化的TCO制备方法有溅射法(Sputter)和化学气相沉积法(CVD)，分别在玻璃基板上形成ZnO:Al或ZnO薄膜。化学气相沉积通常使用

TCO及非晶-微晶叠层产品，与客户共同努力将每瓦制造成本降至世界最低，跟踪国际先进技术，开展国际国内技术合作，不断进行产品升级和新产品开发。国内外同行相比，曙海太阳能兼具技术、地域和成本优势，以高性价比的

)制程设备在玻璃基板镀上透明导电膜(TCO coating)，进行雷射切割(Laser Scribing)分割玻璃上的TCO膜，接着形成金属膜(Coating Absorber)，再进行雷射切割，接着

、销售，采用“我们卖鸡，客户卖蛋，不与客户竞争”的经营理念。同时曙海还与客户共组战略联盟、共享耗材低成本、共同开发市场，为自有样板线及客户生产线，升级为在线TCO及非晶-微晶叠层产品，与客户共同努力将

。 在供应链组织方面，产品生产所需的高透光率的超白玻璃(或镀有透明导电膜的TCO玻璃)、高纯硅烷、PVB膜等，都只有有限的供应来源。如何争取稳定且价格便宜的材料来源，也是投资人面临的主要难题。 技术人才

三明治结构要求光阳极衬底必须具有透光性，因此透明导电玻璃（transparent conductive oxide，简称TCO）成为传统DSSC衬底的最佳选择，这也是目前研究者所普遍采用的。它是在玻璃
SOLARONIX公司三种不同FTO的紫外-可见光透过率曲线，从图中可以看出，导电玻璃在可见光范围内的最高透过率为90%左右，有一部分太阳光没有被利用，在远红外波段FTO的透过率在80%以下。选取TCO

　　TCO（Transparentconductingoxide）玻璃，即透明导电氧化物镀膜玻璃 ，是在平板玻璃表面通过物理或者化学镀膜的方法均匀镀上一层透明的导电氧化物薄膜，主要包括In、Sn
、Zn和Cd的氧化物及其复合多元氧化物薄膜材料。 　　TCO玻璃首先被应用于平板显示器中，现在ITO类型的导电玻璃仍是平板显示器行业的主流玻璃电极产品。近几年，晶体硅价格的上涨极大地推动了薄膜太阳能