TCO

HIT电池制造工序中所用到的设备，通过该设备沉积金属氧化物导电层TCO，这也是HIT电池在制作电极前的最后一步。 但PVD设备，并不是HIT最大难题。2020年1月，招商证券研报认为，TCO沉积这项

太阳能光伏玻璃市场按类型，终端行业和地区划分。根据类型，分为防反射镀膜玻璃，钢化玻璃，TCO玻璃等。钢化玻璃板块在市场上占据主导地位，抗反射镀膜玻璃板块预计将在预测期内将以31.6%的最高复合年增长率增长

。需要从非晶硅界面钝化、TCO 光吸收损失、金属化电阻损耗三方面进行努力，对应的工艺流程为 CVD、PVD、丝印三个步骤。这个三大难点克服，不仅仅是工艺的问题，还涉及到设备和材料的配套和改进
(异质结)电池产线外，还可应用于 OLED、钙钛矿电池等诸多领域。 拆解异质结产线投资，其中非晶硅膜沉积及 TCO 镀膜占据研发实力及价值链制高点。其中，非晶硅镀膜 PECVD 及 TCO 镀膜的

，市场空间广阔。 HIT工艺核心在于镀膜，国产设备持续突破：HIT工艺相较于传统电池技术大大简化，只有制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、TCO薄膜沉积、金属化四个步骤，设备价值占比分别为10%、50%、25

光伏电池的发电结构，由于非晶硅薄膜横向导电性不好，如果直接在非晶硅薄膜上印刷电极，会有部分电流无法收集，所以还需要在非晶硅薄膜两侧沉积一层金属氧化物导电层，英文缩写是TCO，说的简单点就是一层透光性很好的
导电膜，最后在TCO上丝网印刷电极，再固化，光再生，就制成了HIT电池。因此从工序上来讲，HIT电池核心工序就4步，清洗制绒、非晶硅镀膜、沉积TCO、丝网印刷，是所有电池工艺中步骤最短的。 2

氧化物薄膜(TCO)，最后通过丝网印刷或电镀技术在电池两侧的顶层形成金属集电极，其结构具有对称性。 HJT电池转换效率已在晶硅光伏电池中位居前列：HJT电池量产之后，日本Sanyo/松下仍在持续研究
(PVD/CVD方式)实现短波长吸收(钙钛矿)和长波长吸收(HJT)的结合，其所应用的TCO膜层已然在异质结电池中采用，而在HJT单结中损失的蓝光可被上层钙钛矿收集利用。整体而言，HJT与钙钛矿在兼容性上有

核心设备为CVD+PVD HJT电池的一大优势是工艺简单，仅包括制绒、非晶硅沉积、TCO沉积、丝网印刷四步，而PERC电池为了达到较高的转换效率，除了传统工艺流程外还要增加退火等工艺，复杂的工艺
也陆续推出CVD新产品，现阶段仍在试验中。 TCO镀膜设备：RPD设备商包括日本住友、台湾精耀，PVD设备商包括梅耶博格、应用材料、冯阿登纳、国内钧石等。 现阶段采用PVD方式成膜的企业较多，主要

，并在电池顶部设计透明导电的TCO薄膜：(1)非晶硅层可有效降低表面悬挂键的密度，从而达到良好的界面钝化作用;(2)TCO薄膜可以实现导电、减少反射、同时保护非晶硅薄膜等重要作用。HJT电池具有开路
、TCO膜沉积是HJT生产核心步骤，PECVD和PVD国产化、规模化将推动降本。HJT电池生产设备与常规电池的兼容性较差，新建项目需要重新投入生产线。制造工艺流程主要包括：清洗制绒、非晶硅薄膜沉积

结构天然的双面发电能力(亦可牺牲双面性兼容IBC工艺成为HBC结构)、TCO层可叠加钙钛矿涂层等多项传统电池结构无法具备的固有优势决定了HJT异质结可以被认为是下一代晶硅太阳能电池的平台级技术，目前

工艺开发的低温银浆，其要求是： ①电极成型温度低于200℃ ②电极体电阻率低于10-5cm ③该电极无需与硅形成欧姆接触，但与TCO导电层的接触需足够低 ④可以经受电池串焊时200-350℃的
银粉选择，还要考虑与TCO膜的接触电阻和电极互联后的焊接拉拔力。 ②有机体系开发：HJT银浆需同时满足印刷的墨性要求和固化工艺要求，相比于高温烧结银浆的有机体系，可谓用量更少、作用更大。首先，因为要