TCO

的透明氧化物导电薄膜(TCO)的HELiA PVD 设备来说，藉由四个主要设备来完成八个工艺步骤，使得工艺流程极大地简化，生产场地占地面积大大缩小，其工艺步骤如下： 01、制绒清洗机 ： 电池
非晶硅薄膜( p-a-Si:H)。 03、物理气相沉积(PVD) 沉积电池正反面的透明氧化物导电薄膜(TCO) 04、丝网印刷机 正面金属电极制备 反面金属电极制备 退火 测试和分档

HELiA PECVD 及沉积电池正反面的透明氧化物导电薄膜(TCO)的HELiA PVD 设备来说，藉由四个主要设备来完成八个工艺步骤，使得工艺流程极大地简化，生产场地占地面积大大缩小，其工艺步骤
非晶硅膜( i-a-Si:H )和p型非晶硅薄膜( p-a-Si:H)。 03、物理气相沉积(PVD) 沉积电池正反面的透明氧化物导电薄膜(TCO) 04、丝网印刷机 正面金属电极制备 反面

传输系统、HIT双面无翻转镀膜系统、HIT高迁移率TCO项目、高效臭氧清洗技术开发、高效HIT电池印刷技术开发等太阳能电池产品及技术方面有了较大突破。并在异质结双面组件开发，超大硅片(210/166) 组件开发、500W高效组件开发等组件产品研发方面在行业内取得一定成果。

和掺杂 P 型非晶硅薄膜，与硅衬底形成异质结，背面通过沉积 5-10nm 的本征非晶硅薄膜和掺杂 N 型非晶硅薄膜形成背表面场。在掺杂非晶硅薄 膜表面沉积 TCO 透明导电氧化物薄膜，最后在正背表面
使用过程中不可避免地老化和损耗问 题，制约了设备的 uptime，增加了设备的运行成本，目前松下的量产技术采用了 HWCVD 法。 TCO 主要改进在于沉积方法和材料。HIT 表面的 TCO 薄膜的作用

/c-si界面复合的降低而引起的，另一方面TCO层以及TCO/Ag接触性能的改善可能也起到一定的作用。 P型组件的LID与LeTID的测试标准是否适用于N型组件?光注入与电注入测试方式哪种更合适?需要

发电能力低于最初预期，2020年或2021年的碳排放量暂时下降将不会有太大帮助。自意大利3月9日宣布实施全国性防疫措施以来，欧洲碳交易市场价格已缩水三分之一，3月18日交易价低于16欧元/tCO2e。

异质结是光伏行业的第五次技术革命。相较于传统电池，异质结电池生产工艺步骤大幅减少，主要工艺仅4步，分别为制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、TCO制备、电极制备，对应设备为制绒机、HWCVD/PECVD

，产品零光衰，无应力，没有B-O效应引起的LID以及采用TCO膜抗PID最佳，保证长时间的耐久性和收益率。发电量高，相比同类产品能够增加8-15%的发电量，在所有商用电池技术中，发电量收益率最高

沉积(N 型)以形成发射极和背表面场、TCO 沉积以提供高导电率的电荷输运通道。异质结整个生产工艺主要为制绒、非晶硅薄膜沉积、丝网印刷、分选四个步骤。 3、降本空间大 使用
。 3.1海外异质结设备成熟，量产转换效率达到 24% 异质结生产环节主要有 4 道工序，分别为 1)表面处理：制绒;2)非晶硅镀膜;3)TCO沉积和 4)金属化：丝网印刷

，2019年三季度末存货达到20.19亿元，充足的在手订单能够确保明后年业绩的稳定增长。 HJT电池分为四道工艺，制绒清洗、非晶硅镀膜、TCO镀膜和丝网印刷。公司率先突破：1)开拓适用于HJT电池的丝网印刷