TCO

非晶硅薄膜，N型非晶硅薄膜，背面依次沉积本征非晶硅薄膜、P型非晶硅薄膜，掺杂非晶硅薄膜两侧分别沉积透明导电氧化物薄膜(TCO)，在TCO两侧顶层形成金属电机。 预计2023年HJT电池片成本接近

HJT的主要生产工艺有制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、TCO制备和丝网印刷四步，其中TCO制备是生产HJT电池的第三道核心工序，高质量的TCO薄膜能有效提升HJT电池的整体转换效率。目前TCO镀膜设备

，技术上不再存在壁垒。 异质结电池工艺简单(制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、TCO制备、电极制备)、效率高、工艺温度低、光致增益全生命周期发电量高、弱光发电性能较好，以及能更好的利用超薄硅片，并且未来可与

可以获得10%以上的年发电量增益。 上文也提到，国产设备龙头研发顺利，设备环节有望优先受益。 各环节设备投资额占比情况，清洗制绒(10%)、PECVD(50%)、TCO制备-PVD/RPD(25

(PECVD)和新式TCO镀膜设备，共同开发了具有自主知识产权和技术专利的新技术和新工艺，最终实现专利技术成果共享。同时，对捷佳伟创提供的全线整套电池设备及自动化设备，爱康参与了设备开发技术交流、方案设计
自主知识产权的HJT关键工艺设备板式PECVD5500迎来了整备交付客户。至此，捷佳伟创成为全球第一家完成全线四道工序完全自主开发的整体异质结电池解决方案设备提供商;PECVD设备将和TCO工序先进的

继引领高效和超高效HJT的TCO设备新型自主RPD系列之后，捷佳伟创历时一年精心打磨的具有完全自主知识产权的HJT关键工艺设备板式PECVD5500迎来了整备交付客户的日子，给生机蓬勃的光伏行业又
AGV智慧工厂的全制程设备的自主开发工作，成为全球第一家完成全线四道工序完全自主开发的整体异质结电池解决方案设备提供商。这款优秀的PECVD设备将和TCO工序先进的RPD系列设备组成 双子星 设备

远不能满足需求，已经成为制约光伏组件产量的重要因素。 目前，旗滨集团已形成了从硅砂、玻璃原片、在线Low-E镀膜节能玻璃、在线TCO镀膜光伏太阳能玻璃、超白光伏基片生产到深加工及销售的一条龙玻璃

，国产化降本空间 相对有限。产能提升并非 PVD 设备向上优化的瓶颈，努力方向在于改善 TCO 薄膜透光性、均匀性、传导性等指标进而提升电池转换效率，未来靶材的创新 优化或助力进一步突破效率瓶颈
爱康科技签署 2GW 异质结电池项目合作协议，聚焦 PECVD 和新式 TCO 镀膜设备的共同研发。金辰股 份发布非公开发行预案，拟募集不超过 38000 万元用于年产 40 台(套)光伏异质结(HJT

，只有制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、TCO薄膜沉积、金属化四个步骤。但HIT难度 系数更高，进口HIT设备投资约为8-10亿元/GW，若实现国产化有望降低至5元/GW以下。 其中核心环节在于非晶硅薄膜沉积

沉积法，设涉及PECVD和Cat-CVD，对设备有所要求;三是TCO膜制备，PVD所使用的的靶材生产企业较多，且基本不受专利限制，因此企业多采用PVD方式成膜;四是丝网印刷，HJT电池成本中占比较大的