TCO

：  掩模和CVD原位掺杂制备背面PN区  电池正面沉积本征非晶硅钝化层  PN区与基区之间沉积本征非晶硅钝化层  PN区与金属电极之间沉积TCO层  单面丝网印刷，无主栅或多主栅  兼容
本征和掺杂非晶硅镀膜工艺，工艺窗口窄，对工艺清洁度要求极高 正负电极都处于背面，电极印刷和电极隔离工艺对设备精度要求高 低温银浆导电性弱，需要跟TCO配合良好，壁垒高供给少 低温电池制程

持续深耕N型电池技术，通过清洗制绒、丝印烧结、CVD、TCO等工序优化，进一步提升产品效率、降低技术成本、优化生产碳足迹，为客户带来更优质的N型产品体验，引领行业N型技术升级。 东方日升异质结电池

，TOPCon电池也有比较高的呼声。 相比较而言，异质结电池有4道工艺(制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、TCO制备、电极制备，对应的设备分别为清洗制绒设备、PECVD设备、PVD/RPD设备、丝网印刷设备

。 HJT电池微晶工艺 有助提升转换效率 HJT电池是以N型硅片为衬底，在正面依次为透明导电氧化物膜(简称TCO)、N型非晶硅薄膜和本征非晶硅薄膜;在电池背面依次为TCO、P型非晶硅薄膜和本征

核定后按照不超过200元/tCO₂e(每吨二氧化碳)的标准，最高补助50万元。 同时，以上四个项目，企业符合条件的，可同时申报。同一企业申报多个项目的，同一项目按照就高不重复的原则进行申报，同一
/当年企业产值)比之前一年度下降5%及以上，企业通过非交易行为实现减少二氧化碳排放总量上年度比之前一年度的减少量为500吨及以上的，经核定后按照不超过200元/tCO?e(每吨二氧化碳)的标准，最高补助

%，最高效率达到 25.06%，通威最高实现了 25.18%，效率潜力明显优于 PERC 电池; 2)光衰减低+温度系数低，稳定性强。HJT 电池通过良好的镀膜工艺来降低界面复合改善 TCO 层及 Ag
%降本空间。HJT 制作工艺流程大幅简化，制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、TCO 薄膜沉积、电极金属化四个步骤，分别对应的制绒清洗、PECVD、PVD/RPD、丝印/电镀四道工艺设备。随着迈为、捷佳及钧石等

耗量下降，同时优化TCO靶材应用，提高利用率与低成本靶材应用。企业重点聚焦低成本银包铜技术，可将整体银浆成本降低20%-50%左右，目前已在产线上验证了该技术的可靠性，正在进行加长可靠性实验

、非晶硅薄膜沉积、TCO薄膜沉积、电极金属化四个步骤，分别对应制绒清洗、PECVD、PVD/RPD、丝印/电镀四道设备。目前国内试产及量产线基本实现了HJT设备的国产化替代，尤其通威股份1GW异质结

良好的镀膜工艺来降低界面复合改善TCO层及Ag接触性能。HJT电池10年衰减小于3%，25年仅下降8%。且电池温度系数小，能减少太阳光带来的热损失; 3)工艺流程更加简化，提效降本空间更大。相比
40%; 3)设备方面降本：目前单GW成本低于4亿元，未来仍有40%降本空间。HJT制作工艺流程大幅简化，制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、TCO薄膜沉积、电极金属化四个步骤，分别对应制绒清洗、PECVD