TCO玻璃基板

转换效率的提高。 为了获得n型CIGS层，首先要在玻璃基板上形成Mo，在其上面通过三级法形成p型CIGS层，进而形成TCO。此外，还备有溶有Cd的氨溶液。其次，将形成了p型CIGS层等的玻璃基板浸在室温氨

，增速达31.4%，电池片、组件产量6.5GW、逆变器10GW，产值突破400亿元，光伏控制、逆变设备出货量居世界第一。2.产业链日趋健全。形成从玻璃基板-多晶硅原料-电池片-组件-逆变器-储能电池
检测测试仪器生产。重点引进全自动大面积等离子增强化学气相沉积（PECVD）、多槽制绒清洗设备、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、高精度丝网印刷机等晶硅电池片生产线设备，大面积TCO导电玻璃镀膜设备

达31.4%，电池片、组件产量6.5GW、逆变器10GW，产值突破400亿元，光伏控制、逆变设备出货量居世界第一。2.产业链日趋健全。形成从玻璃基板-多晶硅原料-电池片-组件-逆变器-储能电池-发电工程等
（PECVD）、多槽制绒清洗设备、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、高精度丝网印刷机等晶硅电池片生产线设备，大面积TCO导电玻璃镀膜设备、用于背电极制备的多靶位磁控溅射系统，以及大尺寸、超薄硅片多

达31.4%，电池片、组件产量6.5GW、逆变器10GW，产值突破400亿元，光伏控制、逆变设备出货量居世界第一。2.产业链日趋健全。形成从玻璃基板-多晶硅原料-电池片-组件-逆变器-储能电池-发电
）、多槽制绒清洗设备、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、高精度丝网印刷机等晶硅电池片生产线设备，大面积TCO导电玻璃镀膜设备、用于背电极制备的多靶位磁控溅射系统，以及大尺寸、超薄硅片多线切割机、自动

太阳能产业带来新机遇太阳能光伏玻璃包括晶硅电池所用超白压延玻璃和薄膜电池所用TCO玻璃。太阳能光伏玻璃作为太阳能电池产业中一个重要的新兴配套产品，将伴随着光伏行业的高速发展而不断发展壮大，我国

压延玻璃和薄膜电池所用TCO玻璃。太阳能光伏玻璃作为太阳能电池产业中一个重要的新兴配套产品，将伴随着光伏行业的高速发展而不断发展壮大，我国太阳能光伏玻璃行业前景可期。　　地铁可与光伏结合能伸入高空

损伤。 图3:固定电阻率情况下增加载流子浓度对TCO膜在波长1100nm处的吸收作用的影响。在迁移率为30cm2/Vs 起始点处的值是由典型的镀在玻璃上电阻率为410-4Ohm-cm的
较高的载子迁移率和较低的自由载子浓度（FCC）。结合PECVD技术良好的表面钝化效果和RPD制备TCO的优异表现，我们初步在六英寸电池片上得到了大于21%的转换效率。 关键词：硅异质结太阳能电池

TCO玻璃。太阳能光伏玻璃作为太阳能电池产业中一个重要的新兴配套产品，将伴随着光伏行业的高速发展而不断发展壮大，我国太阳能光伏玻璃行业前景可期。　　地铁可与光伏结合能伸入高空，当然也能深入地下，地铁与

TCO玻璃。太阳能光伏玻璃作为太阳能电池产业中一个重要的新兴配套产品，将伴随着光伏行业的高速发展而不断发展壮大，我国太阳能光伏玻璃行业前景可期。地铁可与光伏结合能伸入高空，当然也能深入地下，地铁与光伏的