Roth&Rau
。薄膜设备厂商如欧琳克、应用材料AM的薄膜设备价格很高，技术也不是很好，金融危机后让许多公司包含尚德在内大受损失，2010年应用材料更是不得不退出此块市场，2011年Roth&Rau也宣布将碲化镉设备
光伏组件。此外，德国光伏设备公司Roth&Rau(后被梅耶博格收购)以及法国国家太阳能研究所(CEA/INES)也投入HJT电池的研发。 ►工艺生产阶段(2010~2017年)：随着2010年松下(收购
。 激光涂源掺杂电镀法 此为Roth&Rau的turnkey制备方案，该方案的要点是： 分别处理前后电极，浅扩散(100-120/sqr)和镀膜后先丝网印刷铝背场并烧结，然后在前表面旋涂磷源(磷酸
越窄，效率提高越多。 2、激光涂源掺杂电镀法 此为Roth&Rau的turnkey制备方案，该方案的要点是： 分别处理前后电极，浅扩散(100-120/sqr)和镀膜后先丝网印刷铝背场并
间接等离子：等离子没有直接和硅片接触，基片不接触激发电极( Roth&Rau) 直接等离子：等离子直接接触硅片，基片位于一个电极上，直接接触等离子体( Centrotherm 、岛津
氨气离化，再轰击硅烷气，产生SiNx分子沉积在样品表面。这种设备目前的主要制造商为德国的Roth&Rau公司。（2）直流法：使用直流源激发等离子体，进一步离化氨气和硅烷气。样品也不与等离子体接触。这种
法■13.6MHz：Semco公司和MVSystem公司的板式直接法系统■2450MHz：Roth&Rau公司的板式间接法系统。 原标题:PECVD：晶硅太阳能电池效率提升技术
(SERIS)、中山大学太阳能系统研究所等太阳能领域全球知名院校和研究所的科学家，也齐集了来自保利协鑫、天合光能、汉能、腾辉、LDK、中电电气、晶科、阿特斯、英利、中盛光电、Manz、Roth&Rau
、Roth&Rau、Meyer Burger、DEK、西门子、Centrotherm、Oerlikon、SIBCO等，太阳能电池/组件生产商、系统集成商包括无锡尚德/顺风，南京中电，韩华，英利，阿特斯
。其中，较为知名的参展企业中，设备制造商包括迅德、RENA、Manz、Roth&Rau、Meyer Burger、DEK、西门子、Centrotherm、Oerlikon、SIBCO等，太阳能电池/组件
(MeyerBurger)能力中心为涂层技术Roth&Rau开发的钝化发射极背面电池(PERC)太阳能电池技术，并且提高太阳能电池，如韩华Q CELLS品牌下的Q.ANTUM系列的效率。韩华向山晟新能源提供
