PVD
事业。 应用材料公司表示，该公司未来仍将单独销售CVD、PVD等薄膜太阳能面板制造设备，但仍将为SunFab客户提供服务、升级以及产能扩充的支持。此外，该公司在中国西安的太阳能研发中心将
等离子体增强化学气相沉积炉PECVD设备及30台物理气相沉积炉PVD，价值66.13亿元。另外，交付每批设备预付款后，汉能会以每股0.239元，分三批向铂阳认购合共49.1亿股，涉资达11.7亿元，首批
元件之生产设备，铂阳分三个阶段生产及交付三批生产线。每批生产线均包括（其中包括）140台等离子体增强化学气相沉积炉 PECVD 设备及30台物理气相沉积炉设备 PVD 设备（太阳能光伏组件生产系统新
转换效率，吸引不少材料设备业者投入，包括志圣投入硒化炉，真空设备商富临开发的G3.5溅镀PVD生产设备，已出货给台系太阳能业者，并成功试产出CIGS薄膜太阳能电池，转换率可达13%，另外也投入开发硒化
，研制出PVD3000，一部太阳能电池烘干机，能在增加产量的同时，减少设备的占地面积和维护需求。
朗仕的先进烘干机理念，基于热空气对流烘干的原理，这个工艺以更低的烘干温度达到精确的热能控制
。PVD3000与传统的IR 型烘干机相比有显著的优势，它的烘干技术能改善工艺炉内的空气流动，因而令烘干机能处理增加的VOC量，并且提高产出。此外，在炉腔内加热板上加入特殊的催化剂，使VOC转化成二氧化碳和水等更
，推进晶硅太阳能PECVD和薄膜太阳能PVD、PECVD等关键设备的国产化技术攻关和产业化，促进大尺寸晶体硅太阳能电池和薄膜太阳能电池生产线关键技术及设备研发。加快大型并网逆变器、高效蓄能电池等设备的
有望生产并装运100套新的PECVD*和PVD*系统——比去年的装运量提高400%。中心在台南的工厂以及遍布亚洲的供应链将有助于应用材料公司更及时地满足其在亚洲的大量显示器和太阳能客户的需求
：www.appliedmaterials.com。
PECVD：等离子体增强化学气相沉积
PVD：物理气相沉积
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。” 低“拥有成本” 在设计上，SOLARIS系统使用清洁PVD溅镀技术对晶硅太阳能电池的正面和背面进行涂覆。该系统具有多层功能，可对正面进行钝化处理和SiN涂覆，并使用多种不同材料对背面进行涂
设计上，SOLARIS系统使用清洁PVD溅镀技术对晶硅太阳能电池的正面和背面进行涂覆。该系统具有多层功能，可对正面进行钝化处理和SiN涂覆，并使用多种不同材料对背面进行涂覆。SOLARIS 系统外形尺寸
市场均会有所体现。” 低“拥有成本” 在设计上，SOLARIS系统使用清洁PVD溅镀技术对晶硅太阳能电池的正面和背面进行涂覆。该系统具有多层功能，可对正面进行钝化处理和SiN涂覆，并使用
