PVD

　　美国应用材料（AMAT）在采用圆筒状溅射靶（旋转式）的溅射装置“AKT-PiVot 55kV PVD”中追加了铜成膜功能，并在“FPD International 2009”（2009年10月
换成电阻值更小的铜。AMAT的此次装置顺应了采用铜布线的形势。AKT在此次召开的产品发布会上宣布，支持铜成膜的AKT-PiVot 55kV PVD现已能够订购，部分客户正在对装置进行评估

昂贵的设备；相应的耗材也价值不菲，从而增加了太阳能电池的生产成本。SOLARIS采用清洁PVD工艺，不需要温室气体或其他任何设备。 　　关于欧瑞康-实现高科技 　　欧瑞康（瑞士证交所：OERL）是

Solarbe消息，昨日Praxair宣布过去一年总计投资1500万美元，为了提高太阳能光管产能目标，应允服务太阳能PVD市场的承诺。

制造工艺，如刻蚀、PECVD、LPCVD、PVD、MOCVD以及清洗等。”Edwards中国分公司总经理许坚说。“制造工艺的复杂度不断提升，对包括真空泵在内的设备硬件提出了更苛刻的要求

中国大陆客户提供技术最先进的PVD半导体生产设施。」他还表示，「与Oerlikon Systems建立伙伴关系，也体现了我们超越半导体业务，进入诸如纳米技术应用及光能技术等协同市场的策略。我们希望在这

积、丝网印刷以及测试等环节井井有条。中电光伏是在太阳电池制造中采用PVD方法淀积SiN薄膜的第一家，也拥有国家知识产权局的N型硅太阳电池的中国发明专利权，由此可见其坚持技术领先的决心。晶体硅与薄膜

积)设备，薄膜太阳能电池生产线中的PECVD、PVD(离子镀膜)设备等。在集成电路、平板显示器件和太阳能电池三种制造设备中，国产太阳能电池设备是其中发展最快和最好的。据有关行业协会统计，2008年中

设备PECVD及工艺技术　　自主开发关键设备PVD的工艺技术　　光伏电池生产工艺需求及系统的优化设计　　所有设备的工艺过程全自动化　　标准生产线年产能 30 MW（可分阶段实现）　　非晶硅薄膜单结

工艺技术·自主开发关键设备PVD的工艺技术·光伏电池生产工艺需求及系统的优化设计·所有设备的工艺过程全自动化·标准生产线年产能 30 MW（可分阶段实现）·非晶硅薄膜单结光伏电池光电转换效率 ≥ 6%（可
海市南汇区工业园区注册成立。曙海公司是专业从事设计、生产、销售硅薄膜太阳电池生产线和整套工艺及其核心专有设备等离子强化型化学气相薄膜沉积PECVD系统和磁控溅射系统PVD的高科技企业。 曙海

淀积)设备，薄膜太阳能电池生产线中的PECVD、PVD（离子镀膜）设备等。在集成电路、平板显示器件和太阳能电池三种制造设备中，国产太阳能电池设备是其中发展最快和最好的。据有关行业协会统计，2008年