PVD

，半个世纪以来，根据国家对微电子发展的需要，该所从三束（离子束、电子束、分子束）为主的电子束曝光机、分子束外延设备、离子束注入机等半导体微细加工设备的研发，逐渐发展为以半导体PVD、CVD、注入、扩散工艺

高性价比、高产能、高可靠性的硅薄膜光伏组件规模化生产线。其核心专有设备：新一代等离子强化型化学气相沉积(PECVD)系统和磁控溅射(PVD)系统拥有完全自主知识产权。对提高硅薄膜光伏组件的光电转换

薄膜太阳能电池生产线带来的8,500万美元收入。平板显示产品事业部2013财年的订单额为7.03亿美元，同比大增157%，主要得益于电视设备需求回暖以及PVD设备市场份额提高。全年净销售额为5.38亿美元

8,500万美元收入。 平板显示产品事业部2013财年的订单额为7.03亿美元，同比大增157%，主要得益于电视设备需求回暖以及PVD设备市场份额提高。全年净销售额为5.38亿美元，同比增长14

。 下一页 平板显示产品事业部2013财年的订单额为7.03亿美元，同比大增157%，主要得益于电视设备需求回暖以及PVD设备市场份额提高。全年净销

电池生产线带来的8,500万美元收入。平板显示产品事业部2013财年的订单额为7.03亿美元，同比大增157%，主要得益于电视设备需求回暖以及PVD设备市场份额提高。全年净销售额为5.38亿美元，同比增长14

(GS Solar)开发出一套类似的CVD工艺，并随后被Apollo所采用。事实上，Apollo的交钥匙非晶硅生产线已经将内部工具生产(CVD、PVD)和其他工具外包生产(包括外国和国内的工具供应商

Apollo所采用。 事实上，Apollo的交钥匙非晶硅生产线已经将内部工具生产(CVD、PVD)和其他工具外包生产(包括外国和国内的工具供应商)。因此，就CIGS来说，将Apollo作为交钥匙生产线

内，钧石能源(GS Solar)开发出一套类似的CVD工艺，并随后被Apollo所采用。事实上，Apollo的交钥匙非晶硅生产线已经将内部工具生产(CVD、PVD)和其他工具外包生产(包括外国和国内的工具

（high-throughput physical vapor deposition，PVD）系统订单。 Intevac预计将于2014年中旬交付该系统。Intevac总裁兼首席执行官Wendell Blonigan表示